MFC(régulateur de Débit massique de gaz) est un instrument de précision capable de mesurer et de contrôler avec précision le débit massique de gaz, dont le principe de base est basé sur la technologie de conduction thermique ou de mesure de pression différentielle, permettant une régulation de débit de haute précision et à réponse rapide grâce à des capteurs et des vannes de contrôle, largement utilisés dans la fabrication de semi - conducteurs, la chimie, la pharmacie, la surveillance de l'environnement et d'autres domaines.

　　MFCDomaines d'application:

Fabrication de semi - conducteurs

Contrôle précis du débit de gaz dans les processus tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), la gravure, la diffusion, etc., assurant la qualité de la puce. Par example, le contrôle du débit des gaz réactifs tels que le Silane garantit l'homogénéité du dépôt du film.

Production chimique

Optimiser les conditions de réaction et augmenter l'efficacité de la production. Par exemple, la quantité de flux réactionnel est contrôlée pour contrôler la vitesse et l'efficacité des réactions chimiques.

Industrie pharmaceutique

Garantir la précision et la fiabilité de l'approvisionnement en gaz stérile. Par exemple, contrôler le débit de médicaments ou de gaz et assurer le bon fonctionnement des dispositifs médicaux.

Surveillance et gouvernance environnementales

Le flux de gaz dans l'atmosphère est surveillé en temps réel, fournissant un support de données pour l'évaluation de la qualité de l'air, le suivi des sources de pollution et le contrôle de la pollution. Dans le traitement des gaz d'échappement, la purification de l'air et d'autres équipements respectueux de l'environnement, le débit de gaz dans le processus de traitement est contrôlé avec précision pour assurer un effet de traitement optimal.

Autres domaines

Contrôle de la mesure du Débit massique de gaz combustible pour chaudières, Craqueurs; Pétrochimie, extraction de pétrole, mesure du Débit massique de gaz de torche; Contrôle de la mesure du Débit massique d'air pour les fours de combustion; Traitement des aliments, contrôle de chlore d'usine d'eau, etc.