À l'heure actuelle du développement à grande vitesse de l'industrie photovoltaïque et des semi - conducteurs, le silicium monocristallin en tant que matériau de base de base, la performance de son équipement de préparation détermine directement la qualité du matériau et l'efficacité de la production. Four de silicium monocristallin (Four de croissance monocristallin à tirage direct entièrement automatique) en tant qu'équipement clé pour la préparation du silicium monocristallin, dans l'azote, l'argon et d'autres environnements de gaz inerte, la matière première de silicium polycristallin est fondue à haute température au - dessus de 1450 ℃, par la méthode de tirage direct pour cultiver des barres de silicium monocristallin sans dislocation, largement utilisées dans les circuits intégrés, les cellules solaires, les dispositifs optoélectroniques et d'autres domaines. Et pour réaliser le contrôle précis de l'environnement gazeux dans le four, le Contrôleur de Débit massique de gaz (MFC) est devenu un dispositif de base pour le fonctionnement stable du four en silicium monocristallin, Suzhou aituoli avec l'intégration de la technologie dans le domaine de la mesure et du contrôle du débit de labour profond, les Produits MFC lancés sont devenus un programme d'accompagnement clé dans la fabrication et la production de fours en silicium monocristallin.
L'environnement de travail du four de silicium monocristallin sur la précision du contrôle du débit de gaz, les exigences de stabilité sont strictes: à l'intérieur du four, il faut maintenir un vide d'environ 2,6 kPa, les fluctuations du débit d'argon et d'autres gaz de protection affecteront directement la qualité de cristallisation des barres de silicium monocristallin, et même provoquer des défauts dans les barres de cristallisation. L'équipement de mesure de débit traditionnel est sensible aux variations de pression et de température, nécessitant des corrections fréquentes des paramètres, et le MFC de Suzhou aituoli a franchi ce goulot d'étranglement technologique - il combine la mesure de débit et le contrôle en boucle fermée, un circuit de détection intégré de haute précision et une vanne de régulation de débit, peut suivre automatiquement la valeur de débit définie et rester stable lorsque la pression d'argon et la température ambiante fluctuent, sans correction supplémentaire de la pression de température, garantissant fondamentalement la cohérence de l'environnement gazeux dans le four à silicium monocristallin.
Pour les scénarios d'application des fours à silicium monocristallin, les produits MFC de Suzhou aituoli Custom R & D sont équipés d'un capteur de débit auto - développé et d'une vanne proportionnelle de haute précision auto - étudiée, qui peut être adaptée de manière flexible aux besoins de mesure et de contrôle des gaz inertes couramment utilisés dans les Fours à silicium monocristallin tels que l'azote, l'argon, l'hélium et autres. La plage d'adaptation de la pression différentielle de fonctionnement du produit couvre 0 à 1 MPa, la plage de mesure peut être choisie de manière flexible entre 1 ml / min et 200 L / min, tout en fournissant un signal analogique riche, un moyen de communication de signal numérique, peut s'interfacer de manière transparente avec le système de contrôle informatique du four en silicium monocristallin, permettant la transmission en temps réel des données de débit et la régulation à distance.
En termes d'adaptation mécanique, les connexions standard de Suzhou aitoli MFC prennent en charge de nombreux types d'interfaces tels que double boîtier de carte, magnétoscope et autres, et peuvent également personnaliser les connexions spéciales en fonction des besoins des fabricants d'équipements de four en silicium monocristallin, réduisant considérablement la difficulté d'intégration et de maintenance ultérieure de L'équipement. Outre le four de silicium monocristallin, ce MFC est également excellent dans le dépôt physique en phase vapeur (PVD) Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) équipement, avec une haute adaptabilité à la température, haute précision et haute résolution capacité de mesure et de contrôle, peut contrôler avec précision le flux de gaz réactif, aider à La croissance de haute pureté des matériaux semi - conducteurs, des éléments photométriques (cristaux laser, fibres optiques, etc.).
Avec l'augmentation continue du volume d'installation photovoltaïque et la mise à niveau continue du processus de fabrication de puces semi - conductrices, la demande du marché des matériaux en silicium monocristallin connaît une croissance explosive et la mise à niveau technologique des équipements de four en silicium monocristallin entre également dans une période d'accélération. Suzhou aituoli a toujours placé la "mesure de précision et le contrôle" au cœur, s'appuyant sur la technologie de détection de débit et les solutions personnalisées de recherche et de développement indépendantes pour fournir un soutien stable et fiable au contrôle du débit de gaz aux équipements de base dans les domaines du photovoltaïque et des semi - conducteurs, devenant ainsi un partenaire technologique dans la chaîne industrielle de fabrication de silicium monocristallin. À l'avenir, Suzhou aituoli continuera également à approfondir les besoins en matière de mesure et de contrôle des nouvelles sources d'énergie et des équipements semi - conducteurs, à introduire davantage de produits de contrôle du flux adaptés aux scénarios de fabrication et à contribuer au développement autonome de l'industrie nationale de l'équipement.