Le noyau automatique d'épaisseur de film de type de bureau est de détecter la différence de caractéristique de la couche de film avec le substrat par des méthodes physiques ou optiques, calcule automatiquement et produit la valeur d'épaisseur de film, différents modèles de principe s'adaptent à différents scénarios de couche de film, voici les 3 Principes de fonctionnement Les plus courants introduction simple:
1. Contact (méthode de sonde mécanique)
C'est le principe le plus fondamental. La sonde de haute précision de l'instrument touche lentement la surface de l'échantillon, se déplace de la base au - dessus de la couche de membrane et mesure directement l'épaisseur réelle de la couche de membrane par la différence de hauteur perçue par la sonde. L'avantage est une grande précision et convient aux films épais (par exemple, films métalliques, revêtements), mais peut endommager légèrement la surface de l'échantillon.
2. Formule optique (méthode de réflexion / réfraction)
Travailler en utilisant les propriétés réfléchissantes ou interférentielles de la lumière est également un type très couramment utilisé de type table. Après que la lumière frappe la surface de la couche de membrane, la réflexion de la surface supérieure de la couche de membrane et la réflexion de l'interface de la couche de membrane et du substrat se produisent simultanément, les deux faisceaux de lumière réfléchie créent des franges d'interférence. L'instrument calcule automatiquement l'épaisseur du film en analysant les paramètres tels que l'espacement, l'intensité des franges d'interférence, en combinaison avec l'indice optique de la couche de film. Convient aux films minces (tels que les films optiques, les films semi - conducteurs), sans contact n'endommagera pas l'échantillon.
3. Méthode de la grippe vortex
Principalement contre une couche de film conducteur (par exemple, un film métallique). La sonde de l'instrument crée un champ magnétique alternatif qui, lorsqu'il est proche de la couche de membrane conductrice, crée des courants de Foucault à l'intérieur de la couche de membrane, qui à leur tour affectent l'intensité du champ magnétique de la sonde. L'épaisseur du film est différente, l'intensité du vortex est également différente, l'instrument convertit automatiquement l'épaisseur de la couche de film en détectant la quantité de changement de champ magnétique. Convient pour la détection rapide de films métalliques, revêtements conducteurs, sans contact et haute efficacité.