Performance de l'équipement

Système de contrôle de mouvement: le moteur linéaire est entraîné avec une règle à grille de haute précision, qui peut réaliser des opérations d'imputation à l'échelle nanométrique, telles que le système de commande numérique Siemens 840dsl. Le codeur haute résolution du servocommandeur garantit une volatilité minimale de la vitesse, garantissant ainsi la précision et la stabilité du mouvement.

Précision de positionnement: la précision de positionnement fait référence au degré de précision avec lequel l'équipement détermine la position de coupe, le positionnement à l'échelle nanométrique peut être réalisé grâce à un codeur linéaire et à un interféromètre laser, etc., certains modèles peuvent atteindre ± 0,1 μm, garantissant que le chemin de coupe coïncide parfaitement avec la zone de piste de coupe de la plaquette.

Précision de positionnement répétée: reflétant la stabilité du système de mouvement de l'équipement, après l'adoption du système de contrôle à cycle fermé, la précision de répétition peut être contrôlée à un niveau inférieur, comme la série Mitsubishi Electric mgk peut contrôler la précision de répétition à ± 0,08 μm.

Qualité de la lame ou de la fente: le battement radial de la lame affectera la précision de coupe, la technologie d'équilibrage dynamique de la broche peut contrôler l'excentricité de la lame Dans une certaine plage, comme le modèle Tokyo Precision dfd8510 utilise une broche à roulement à air pour réduire le battement à 0,3 μm. Pour les fendeurs, leur degré d'usure affecte également la précision des lobes, qui doivent être détectés et remplacés régulièrement.

Paramètres du processus de coupe

Vitesse de coupe: une vitesse de coupe trop rapide peut entraîner une instabilité de la force de coupe, ce qui rend les bords de la puce irréguliers ou même fissurés; Une vitesse trop lente peut affecter l'efficacité de la production et causer des dommages thermiques à la plaquette en raison d'une accumulation de chaleur prolongée.

Profondeur de coupe: la profondeur de coupe doit être contrôlée avec précision en fonction de l'épaisseur et des caractéristiques du matériau de la plaquette, trop peu profonde peut entraîner une séparation complète de la puce, trop profonde peut endommager la structure fine à l'intérieur de la puce.

Vitesse d'alimentation: la vitesse d'alimentation doit correspondre à la vitesse de coupe et à la profondeur de coupe pour garantir la stabilité et la précision du processus de coupe, sinon des contraintes mécaniques importantes peuvent être générées, entraînant la rupture ou la déformation de la puce.

Matériaux de plaquette et prétraitement

Caractéristiques du matériau de la plaquette: la dureté, la fragilité et la sensibilité thermique des différents matériaux semi - conducteurs peuvent affecter l'effet de coupe. Si la plaquette de silicium est relativement dure, tandis que les matériaux tels que le Nitrure de gallium sont plus fragiles, la découpe nécessite différents paramètres de processus et modes de découpe.

Qualité de la surface de la plaquette: la propreté de la surface de la plaquette affecte directement l'effet de coupe, et s'il reste des particules ou des produits chimiques sur la surface, cela peut faire dévier le chemin de coupe de la piste prédéterminée, augmentant le risque de rupture de la puce. En outre, la façon dont la plaquette est fixée affecte également la précision de la coupe, et un blocage peut entraîner un déplacement de la plaquette pendant la coupe.

Facteurs environnementaux: les changements de température et d'humidité peuvent affecter l'état de la plaquette et de l'équipement, une température trop élevée peut provoquer une expansion du matériau de la plaquette, affectant la précision de la coupe; Et une humidité trop faible peut entraîner une accumulation d'électricité statique, l'adsorption d'impuretés telles que la poussière, ce qui peut affecter la qualité de la coupe. Le maintien d'un environnement de température et d'humidité constante est donc essentiel pour garantir la précision d'usinage de la lame semi - conductrice.