Ellipsomètre spectralEst un instrument de mesure optique de haute précision principalement utilisé pour analyser les propriétés optiques des matériaux (tels que l'indice de réfraction, le coefficient d'extinction), l'épaisseur du film mince (de l'ordre du nanomètre au micromètre) et les informations microstructurales sur les surfaces / interfaces. Son principe de base est d'utiliser le changement de l'état de polarisation de la lumière après réflexion ou transmission à la surface du matériau, en analysant les propriétés physiques des matériaux d'inversion de ce changement, largement utilisé dans les semi - conducteurs, les films minces optiques, les nanomatériaux, la biomédecine et d'autres domaines.

L'appareil peut être utilisé sans contact, sans perte de mesure et sans destruction de l'échantillon; Mesure d'épaisseur jusqu'à l'échelle nanométrique; Aucun marquage ou prétraitement n'est requis et convient à une grande variété de matériaux.

Choisir d'acheterEllipsomètre spectralOn peut se concentrer sur les points suivants:

1, gamme spectrale: choisissez la gamme spectrale appropriée en fonction des propriétés optiques du matériau de mesure. Par exemple, les matériaux transparents doivent se concentrer sur la zone spectrale d'indice de réfraction, et les matériaux absorbants à ondes courtes peuvent être étendus à la zone transparente infrarouge pour déterminer l'épaisseur.

Précision et répétabilité de la mesure: la précision est l'indicateur de base, la précision doit être vérifiée par des échantillons standard (tels que l'air); La répétabilité reflète la stabilité de l'instrument et nécessite plusieurs mesures des résultats comparatifs.

Méthode d'incidence: la mesure Multi - angle peut améliorer la fiabilité, mais tous les scénarios ne sont pas nécessaires. Le film multicouche, le film absorbant et d'autres structures complexes nécessitent une mesure Multi - angle, tandis que le film simple à un angle peut être.

4, logiciel d'analyse: la mesure ellipsométrique est une mesure non directe, les données doivent être ajustées pour l'analyse. Le logiciel doit disposer d'une riche base de données de matériaux, de capacités de construction de modèles flexibles et d'algorithmes efficaces pour permettre une inversion rapide et précise des paramètres.

5, configuration matérielle: selon la demande sélectionnez le compensateur rotatif, la base de changement d'angle automatique, la technologie de faisceau convergent et d'autres matériels.