1, préface:

La lithographie est un processus clé dans la fabrication de circuits intégrés (ci), occupant 40% du processus de fabrication des puces.

50% du temps. Dans le processus de lithographie, il faut non seulement une machine de lithographie, mais aussi un matériau clé - la colle de lithographie. La Colle photolithographique est l'un des matériaux les plus critiques de l'industrie des semi - conducteurs et représente environ 35% du coût total de fabrication des puces tout au long du processus de fabrication de circuits intégrés, le processus le plus central dans la fabrication de semi - conducteurs.

Les gommes photolithographiques sont des mélanges de composition complexe composés principalement de solvants organiques, de résines macromoléculaires, d'agents photoacides (PAG), d'adjuvants. Dans lequel l'agent photoacide est un composant clé de la gomme de lithographie, joue un rôle décisif dans la sensibilité à la lumière, la résolution de la gomme de lithographie. La pureté de l'agent photoacide et le contrôle des impuretés ont un impact important sur la bonne performance de la colle photolithographique et du produit semi - conducteur dans son ensemble. L'agent photoacide est généralement composé de la partie cationique du soufre de triphényle et de la partie anionique du polyfluorosulfonate, tandis que la partie anionique est essentiellement sans absorption UV, le détecteur de type électro - brouillard (CAD) ne dépend pas du composé pour avoir une activité optique et peut être utilisé comme détecteur idéal pour contrôler la qualité de l'agent photoacide.

Cette application utilise le sulfate de trifluorobutyle comme exemple pour explorer la faisabilité du contrôle de la qualité des agents photoacides par CAD.

Le détecteur par électronébulisation (CAD) est un nouveau type de détecteur universel développé ces dernières années, qui détecte indépendamment de la structure moléculaire de la substance testée, et la substance testée n'a pas besoin d'être ionisée, tant que la substance testée appartient à un composé semi - volatil ou non volatil. En même temps,

Le CAD est un détecteur de type sensible à la qualité, où la taille de la valeur de réponse de la substance mesurée est déterminée par la qualité absolue de l'échantillon détecté, tant que la qualité absolue de l'échantillon détecté est cohérente, sa valeur de réponse mesurée tend à être sensiblement la même et permet d'obtenir une limite de détection plus faible et une sensibilité plus élevée.

Le détecteur de type électro - brouillard (CAD) est un résultat scientifique et technologique majeur obtenu par l'équipe de R & D d'yingmed instruments après des années de recherche et d'expériences répétées. Le détecteur utilise une technologie électrique et de nébulisation avancée, ce qui permet une détection de haute sensibilité et de haute précision des échantillons traces.

2, instruments et matériaux:

Instrumentation: agilent1200 chromatographe liquide + détecteur CAD (yingmed instruments, modèle: cadetector A1)

Réactifs: eau pure (eau distillée de Watson), acétonitrile (chromatographiquement pur), acide formique (analytiquement pur) échantillon: sel de triphényl - matte de l'acide trifluorobutylsulfonique.

Méthodes et résultats:

3.1 Conditions chromatographiques:

Colonne de chromatographie: infinitylab poroshell 120 EC - C18 colonne température: 55°c débit: 0,4 ml / min quantité d'échantillon prélevé: 5 µl

Phase mobile a: solution aqueuse d'acide formique à 0,2% phase mobile B: acétonitrile

élution des conditions de gradient

Conditions CAD:

Modèle d'instrument: yingmed instruments cadetector A1 tube de dérive température: 40 ℃ flux d'air de pulvérisation: 3L / min courant de polarisation: 1μa flux d'air de polarisation: 1l / min

3.2 préparation des échantillons:

Diluant: méthanol, méthanol - eau (1: 1) Préparation d'une solution mère de sel de triphénylsulfonate de trifluorobutyle à 2000 µg / ML, dissoute dans une solution méthanolique pure. Diluer la solution mère étape par étape à l'aide d'une solution méthanol - eau (1: 1), formulée pour des concentrations respectives de 1, 2, 5, 10,

Solutions en série à 100 et 1000 µg / ML.

3.3 résultats expérimentaux:

3.3.1 applicabilité de la méthode

Le temps de rétention anionique dans les conditions de la méthode est approprié, la séparation, la forme de crête et la réponse de crête sont bonnes

3.3.2 sensibilité de la méthode

échantillon de 1 µg / ML, échantillon entrant 5 µl; Le triphénylsulfure répond bien avec un rapport signal sur bruit allant jusqu'à 1097,4 (méthode ASTM); Trifluorobutylsulfonate répond bien, rapport signal sur bruit 122,9 (méthode ASTM)

3.3.3 répétabilité

Répétabilité continue à 6 mailles avec une surface RSD% du pic de soufre triphénylé de 0880; Zone du pic de trifluorobutylsulfonate

Le RSD% est de 1222%, tous inférieurs à 2,0%, ce qui indique une bonne répétabilité de la méthode.

3.3.4 linéarité

Concentration de 1 ~ 1000 µg / ML, coefficient de corrélation de soufre de triphényle R est 0999995; Le coefficient de corrélation R du sulfate de trifluorobutyle est de 0999776, la linéarité est bonne et large.

4,Conclusion expérimentale:

L'analyse des anions dans un échantillon d'agent photoacide est réalisée dans cet article par la méthode HPLC - CAD. Le Protocole a une sensibilité élevée, une bonne séparation et répétabilité des ions, une large gamme linéaire et peut être utilisé comme méthode d'évaluation des agents photoacides.

La méthode HPLC - CAD est simple à utiliser, possède de fortes propriétés spécialisées et une sensibilité élevée, peut être utilisée comme contrôle de qualité et évaluation de la méthode de l'agent photoacide.