Le plastificateur par pulvérisation plasma est une version améliorée de la technologie de Pulvérisation magnétron qui améliore considérablement les performances du film en améliorant la densité et le taux de séparation du plasma. Ses processus de base comprennent:

• Amélioration du plasma: l'utilisation de la radiofréquence (RF), de l'alimentation électrique pulsée ou de la Pulvérisation magnétron pulsée à haute puissance (hipims) produit un plasma haute densité qui ionise davantage de particules pulvérisées en ions.

• Dépôt assisté par Ions: les ions de haute énergie bombardent le substrat, améliorent la compacité du film, l'adhérence et réduisent les défauts.