Le cristal de quartz et l'oscillateur forment une boucle de résonance qui produit un signal oscillant stable. La fréquence d'oscillation de la nouvelle plaquette est de 6 MHz, lorsque la plaquette est revêtue, en raison de l'augmentation du poids de la plaquette et de la tension superficielle, sa fréquence de résonance sera réduite, cette variation de fréquence est détectée par un fréquencemètre, la valeur de l'épaisseur de la couche revêtue sur la plaquette est calculée en fonction du taux de variation de fréquence et des paramètres tels que la densité du matériau et la résistance acoustique du matériau. La vitesse de revêtement est enfin calculée à partir de la quantité de variation de l'épaisseur de la couche de film par unité de temps.

Installez d'abord la plaquette à l'extrémité avant de la sonde et placez - la dans la chambre à vide. Réglez le « Facteur d'outil» du matériau du film (utilisé pour calibrer des facteurs tels que la densité et la contrainte) et l'épaisseur souhaitée dans le moniteur. Le revêtement commence alors et le moniteur affiche l'épaisseur actuelle et le taux de dépôt en temps réel. Lorsque l'épaisseur atteint une valeur prédéfinie, le moniteur envoie un signal qui ferme automatiquement le volet ou la source de vaporisation pour arrêter le revêtement.

L'épaisseur de film peut mesurer directement l'épaisseur de la masse, le principe est simple, convient à presque tous les types de matériaux (métaux, médias, etc.) et peut surveiller simultanément l'épaisseur et la vitesse de dépôt, contrôler la stabilité du processus, la méthode optique relative, le coût de l'équipement et des consommables (Wafers) est inférieur. Mais c'est l'épaisseur mesurée sur la lame de cristal, pas sur le substrat réel, où il y a réellement une erreur de position. Sensible aux changements de température, il est nécessaire de stabiliser les conditions de travail, le revêtement de la plaquette de découpe sera défaillant après une épaisseur excessive et devra être remplacé. Lors de l'utilisation, il est nécessaire de choisir l'utilisation de l'épaississeur de film en fonction de la situation réelle.