09,03,2026 8vues
Le 9 septembre 2026, la vingt - septième édition de la China International Optoelectronic Expo (CIOE China Light Expo) a officiellement ouvert ses portes au Shenzhen International Convention and Exhibition Centre. Shenzhen heiresh Automation Technology Co., Ltd (ci - après "heiresh") avec sa série de produits d'analyse de spectrométrie de masse a été présentée à cette exposition, orientée vers les besoins d'inspection de précision des semi - conducteurs, de nouvelles énergies, de l'aérospatiale et d'autres industries, présentant sa disposition de produits dans La direction de la détection de gaz et de l'analyse de spectrométrie de masse.
Stand heyrith
Heireth se concentre sur la recherche et le développement et les applications de détection d'étanchéité, de détection de fuite par spectrométrie de masse et d'analyse par spectrométrie de masse. Depuis sa création en 2008, heireth a continué à promouvoir la mise à niveau de la technologie d'inspection, en construisant un système technique complet couvrant la détection étanche aux gaz, la détection des gaz, l'analyse par spectrométrie de masse et la détection des fuites par spectrométrie de masse, avec une précision de détection de 10⁻¹ à 10⁻¹³ pa·m³ / s, qui peut répondre à différents besoins, du dépistage des fuites importantes à la détection des fuites extrêmement faibles. À l'heure actuelle, les produits de hireth sont utilisés dans le refroidissement liquide, les semi - conducteurs, l'automobile, les nouvelles énergies, l'aérospatiale et d'autres domaines, la marque indépendante hirays couvre les équipements d'inspection, les systèmes d'automatisation et les vêtements chimiques personnalisés, les appareils de traitement et dispose d'un guichet unique pour le Programme d'inspection, de l'équipement à une ligne complète intégrée.
Lors de cette exposition, heireth a présenté l'analyseur de gaz résiduels haute performance HM - 130、Plusieurs produits tels que l'analyseur de gaz résiduel haute pression HM - 150, l'analyseur de spectrométrie de masse en ligne HM - 200 et l'analyseur de gaz résiduel Multi - pression HM - 230.
•HM - 130 analyseur de gaz résiduel haute performance
Cette expositionHM - 130 analyseur de gaz résiduel haute performanceConçu pour les semi - conducteurs et les procédés sous vide, il est destiné aux applications dans des environnements à vide élevé. L'appareil a une pression partielle minimale détectable de 2e - 15torr, une vitesse de balayage allant jusqu'à 2ms / point et une plage de nombres de masse allant de 1 à 300amu. Dans le processus de semi - conducteur, il peut être utilisé dans des scénarios tels que la détection de fuite, le diagnostic sous vide, l'analyse d'hydrocarbures, etc. Ses caractéristiques de haute sensibilité peuvent capturer les impuretés gazeuses à très faible concentration, la capacité de réponse rapide peut capturer les changements transitoires de course en temps réel, une large gamme de nombres de masse compatible avec l'analyse quantitative qualitative Multi - scénarios et multi - gaz. Les produits sont conçus pour les environnements exigeants tels que les semi - conducteurs et le revêtement sous vide, en mettant l'accent sur la stabilité du fonctionnement à long terme et la cohérence du processus de production de masse.
•Analyseur de gaz résiduel haute pression HM - 150
Analyseur de gaz résiduel haute pression HM - 150Spécialement conçu pour les conditions de travail exigeantes à haute pression, la limite supérieure de pression de travail est de 2 PA, la limite de détection de pression partielle la plus basse est de 2e - 9 PA, revêtu d'oxyde d'yttrium Iridium filament double filament ou double Filament de tungstène, vitesse de réponse de 2 MS / point, peut être appliqué à la détection de fuite d'air et de pollution haute sensibilité du vide élevé au processus PVD. Equipement avec 1 - 50 AMU et 1 - 100 AMU double gamme de nombres de masse, prend en charge le balayage à spectre complet et le balayage de nombre de masse spécifique, ce qui permet une analyse quantitative qualitative rapide des gaz communs tels que h₂, He, n₂, o₂, AR, etc. Ses capacités de détection de haute sensibilité aident à verrouiller les sources de contamination et permettent l'intégration d'api avec la fonction d'alarme de surveillance automatique pour accéder aux lignes de production numérisées.
•Analyseur de spectrométrie de masse en ligne HM - 200
Analyseur de spectrométrie de masse en ligne HM - 200L'utilisation de la méthode d'analyse des gaz résiduels (rga) pour répondre aux besoins de précision de détection des trous de fuite à l'échelle du micron offre un protocole d'analyse en ligne pour la détection de fuite de haute précision. Le produit met l'accent sur les caractéristiques de l'auto - recherche de base, de l'intégration tout - en - un, du coût sans consommables et de l'inspection rotative Multi - cavités, ainsi que sur le service à guichet unique d'hireth. Basé sur la technologie de spectrométrie de masse à quatre pôles, le HM - 200 peut détecter directement l'électrolyte, avec une sensibilité élevée et une large plage de nombres de masse, il peut être utilisé pour l'analyse quantitative qualitative des gaz résiduels du système de vide, la surveillance en temps réel des gaz de processus et la traçabilité de la pollution, afin de répondre aux besoins de validation des processus et de recherche et développement. Le processus de détection ne nécessite pas l'utilisation d'hélium, ce qui contribue à réduire les coûts d'exploitation du système; Dans le même temps, le Protocole fournit des idées améliorées pour les problèmes de détection manquée causés par la flottaison du gaz et la tension superficielle de l'électrolyte dans les tests d'hélium traditionnels. L'équipement est de conception ergonomique, avec son propre écran tactile, ce qui peut réduire la charge de fonctionnement.
•Analyseur de gaz résiduel Multi - pression HM - 230
Analyseur de gaz résiduel Multi - pression HM - 230C'est un équipement d'analyse de spectrométrie de masse en ligne tout - en - un avec rga, système de vide et module d'échantillonnage intelligent, adapté aux conditions de travail complexes multi - pression. Sa large plage de pression couvre 1e - 8torr à 1,2 ATM, un seul appareil peut couvrir un champ de pression à gradient complet, adapté aux processus semi - conducteurs exigeants pour les environnements sous vide tels que ALD, CVD, PVD et gravure. L'équipement offre 1 - 100 / 200 / 300amu trois choix de nombre de masse, peut surveiller en temps réel h₂, He, n₂, o₂, Ar et d'autres composants gazeux clés, a une vitesse de réponse de l'ordre de la milliseconde, peut suivre en temps réel les changements de composants de gaz de processus, détecter des fluctuations anormales en temps opportun alarme. La conception intégrée tout - en - un intègre fortement le rga, le système de vide et le module d'échantillonnage, il n'est pas nécessaire de construire un système de vide complexe supplémentaire, c'est - à - dire de le tester immédiatement. En outre, l'équipement utilise un revêtement anti - pollution et un processus de passivation de surface, ce qui contribue à réduire la pollution des composants de base par les dépôts de processus et à prolonger la durée de vie.
Lors de cette CIOE, hereth a démontré ses capacités techniques dans le domaine de la détection de gaz et de la spectrométrie de masse, des composants de base à l'intégration de systèmes, grâce à une présentation centralisée de sa gamme de produits d'analyse par spectrométrie de masse. Avec les exigences croissantes en matière de précision de détection et de stabilité des processus dans les industries des semi - conducteurs et des nouvelles énergies, les solutions de produits connexes d'heyrith offrent plus de choix aux utilisateurs de l'industrie.
