La machine de lithographie est le dispositif de base qui fabrique la puce et fonctionne sur un principe similaire à celui de « l'exposition projetée». Il réduit avec précision et projette le dessin du circuit sur le Réticule sur une feuille de silicium enduite de colle photolithographique par une série de systèmes optiques complexes et de contrôles de précision qui font réagir chimiquement la colle photolithographique. Après des processus ultérieurs de gravure, d'implantation ionique, etc., les transistors et les structures de circuit nécessaires sont finalement formés sur la tranche de silicium.Le niveau technique de la machine de lithographie détermine directement le processus de fabrication et le degré d'intégration de la puce et est un marqueur clé pour mesurer le niveau de fabrication de semi - conducteurs d'un pays.
Aujourd'hui, le rebocomètre est lancéMachine de lithographie ma200 - beRéinventer les limites de la précision avec des technologies innovantes et s'engager à fournir des solutions de localisation plus efficaces et plus stables pour la fabrication avancée de semi - conducteurs.



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