Instrument d'angle de contact

Planche de surf hl200

Mesureur d'angle de contact pour disques jusqu'à 8 pouces de diamètre

WaferInstrument d'angle de contactEst un instrument de précision dédié à l'évaluation de la mouillabilité de surface des plaquettes semi - conductrices, quantifiant les propriétés de surface en mesurant l'angle de contact (θ) formé à la frontière de la triphase gaz - liquide - solide.

Fond physique

La tension superficielle des matériaux lithographiques tels que les colles de lithographie et les révélateurs a un impact potentiel important sur le processus de lithographie lui - même. Par example, l'uniformité, la planéité ainsi que l'adhérence d'un revêtement de spin - Coating dépendent directement des caractéristiques de tension superficielle du matériau en question. De même, l'énergie libre de surface (SFE) d'un revêtement a également un impact significatif sur ses propriétés.

Dans la technologie des semi - conducteurs, l'énergie libre de surface (SFE) des substrats et des couches fonctionnelles peut être systématiquement étudiée par des techniques de mesure de l'angle de contact. En mesurant précisément l'angle de contact, il est possible d'optimiser rapidement les nouvelles étapes du processus et de mieux normaliser les processus connus.

De petits changements dans les caractéristiques de surface de la plaquette apparaissent comme des changements significatifs et facilement détectables dans les résultats de mesure de l'angle de contact, fournissant ainsi des directives claires pour l'amélioration du processus. Investir un peu de temps dans la mesure de l'angle de contact permet d'éviter efficacement les problèmes potentiels dans les chaînes de production ultérieures, ce qui entraîne des avantages économiques importants. Pour réduire la densité de défauts de la structure de la colle photolithographique et obtenir un contrôle dimensionnel caractéristique inférieur à 1 micron, il est essentiel d'assurer une bonne adhérence entre la colle photolithographique et le substrat. Grâce à la technologie de mesure de l'angle de contact, le contrôle efficace de l'adhérence peut être réalisé de manière simple et efficace.

SURFTENS HL 200WaferInstrument d'angle de contactCaractéristiques de

Le système de mesure d'angle de contact surftens HL 200 a été spécialement développé pour l'industrie des semi - conducteurs et la recherche scientifique et est particulièrement adapté au contrôle des processus lors du traitement de surface des plaquettes de silicium. C'est l'outil idéal pour analyser l'angle de contact et la mouillabilité des tranches de silicium, ce qui permet de répondre efficacement aux besoins de mesure rapide, précise et pratique de la mouillabilité des tranches de silicium.

SURFTENS HL 200Instrument de mesure de l'angle de contact de la plaquetteAvec les caractéristiques suivantes:

- conception compacte, économie d'espace, avec une infrastructure mécanique fermée;

- Equipé d'un objectif de mesure de haute qualité qui prend en charge la distance focale fixe pour assurer la précision de la mesure;

- Caméra d'interface USB intégrée pour l'acquisition d'images haute définition;

- tous les composants de base sont intégrés dans un boîtier fermé, empêchant efficacement les désalignements dus à des interférences extérieures;

- Fournir un système d'éclairage LED uniforme et réglable en luminosité qui assure la cohérence et la stabilité de l'environnement de mesure;

- le diamètre de la table de cristal est de 200 mm et la surface est revêtue de téflon pour améliorer la résistance à la corrosion et les propriétés anti - pollution;

- soutenir le réglage précis manuel et le positionnement de la table de cristal sur l'axe X et le sens de rotation (φ);

- structure spéciale de la table pour cartographier rapidement la distribution des angles de contact sur les tranches de silicium;

- la plaquette peut être placée en toute sécurité par des pinces à vide;

- la table de cristal a une plage de course de 100 mm et une fonction de rotation à 360 ° pour répondre aux divers besoins de mesure;

- les résultats des mesures sont présentés simultanément dans le document de protocole et dans l'image vidéo, ce qui facilite l'analyse des différentes dimensions;

- si nécessaire, le calcul de l'énergie libre de surface peut être effectué selon la théorie Wu / owrk.

Cette conception structurelle permet une mesure précise en tout point de la surface de la plaquette.

Les axes X et φ manuels de la table à cristaux sont équipés d'une échelle de précision pour un positionnement précis à la position cible.

Les fonctions de réglage du système de Gouttes sont les suivantes:

- Axe Z manuel: pour régler la position en hauteur de l'aiguille;

- Axe Y manuel: pour corriger la position centrale de l'aiguille;

- Axe X manuel: pour affiner la position de mise au point de l'aiguille.

Le schéma configurable du système de Gouttes est le suivant:

- configurer un seul système manuel de goutte directe;

- configurer deux systèmes manuels de Gouttes directes;

- configurer un système de goutte directe à contrôle logiciel automatique unique;

- configurer deux systèmes de goutte directe contrôlés automatiquement par logiciel;

- Combinez l'utilisation d'un système de goutte directe manuel avec un système de goutte directe contrôlé par logiciel automatique.

Avec mesure automatique de haute précision

Les gouttes d'essai (généralement de l'eau désionisée) sont générées par un système de Gouttes directes manuel ou automatique. L'image de la goutte sera instantanément affichée sur l'écran de l'ordinateur avec une image vidéo en direct de haute qualité. Le processus de mesure peut être démarré par un seul clic et le logiciel est capable de calculer rapidement l'angle de contact et de présenter graphiquement les résultats tout en fournissant des informations détaillées sur les données. Le temps de mesure par goutte est de seulement 1 seconde, ce qui réduit considérablement la probabilité d'erreur. Le surftens HL 200 offre une expérience de fonctionnement simple tout en garantissant une Répétabilité et une précision de mesure élevées.

Logiciel de mesure

Le logiciel de mesure surftens permet une mesure précise et entièrement automatique de l'angle de contact d'une goutte suspendue, basée sur plusieurs algorithmes d'ajustement de la forme de la goutte. Les gouttelettes peuvent être identifiées et détectées automatiquement grâce à la technologie de traitement d'image. Dans des conditions de faible contraste, le logiciel offre une variété de fonctions de détection de gouttelettes assistées, telles que la prise en charge du réglage manuel de la ligne de base et la mesure entièrement manuelle de l'angle de contact en spécifiant un point de mesure sur l'écran. La gamme de services est encore élargie par les fonctions de mesure et les options de service supplémentaires suivantes:

- Affichage dynamique des valeurs numériques de l'angle de contact actuel dans une image vidéo en direct

- mesure automatique de l'angle de contact au fil du temps et présentation des résultats de la mesure sous forme de graphique (temps de cycle librement sélectionnable jusqu'à 50 fois par seconde)

- mesure de l'angle de contact avant par rapport à l'angle de contact arrière sur la base d'images vidéo en temps réel

- mesurer simultanément les angles de contact à gauche et à droite

- détection précise du volume des gouttes après la fin du processus de distribution et le placement des gouttes

Le logiciel intègre un module d'évaluation basé sur la théorie owrk / Wu, capable de calculer l'énergie libre de surface d'un solide à partir de données d'angle de contact pour un maximum de 5 liquides mesurés.

La fonctionnalité d'extraction de fichiers avi à partir de flux vidéo en direct est extrêmement pratique. Après cela, toutes les fonctions de mesure et de documentation sont disponibles pour toute la vidéo ou toute image individuelle dans la vidéo.

Les résultats de mesure peuvent être facilement stockés dans un enregistrement ou dans une image vidéo.

Paramètres techniques:

- table de support d'échantillon: diamètre 200mm ou 300mm, support X / φ positionnement précis

- Épaisseur d'échantillon: 0 ~ 5mM

- Plage de mesure de l'angle de contact: 1° ~ 180°

- résolution / précision de mesure de l'angle de contact: 0,01 ° / ± 0,1 ° (en mode vidéo en direct, lorsque la mesure est basée sur la norme d'angle de contact)

- optique (standard): grossissement 1x, mise au point réglable électriquement

- système vidéo (standard): noir et blanc, interface USB 2.0, 440 mégapixels

- angle d'inclinaison du système optique de mesure: fixé à environ 1°

- source lumineuse: panneau lumineux longue durée de vie

- unité de remplissage: manuelle unique (standard); Double unité de remplissage ou système de remplissage entièrement automatique (en option)

- volume de titrage minimum: 0,2 μl

- résolution / précision de titrage: 0,1 μl (avec de l'eau comme milieu)

- type de seringue: seringue en verre ou seringue jetable avec luer - lock

- système d'exploitation: Windows