D07 - 7 régulateur de Débit massique / débitmètre

NégociableMise à jour sur02/09

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Vue d'ensemble

Le Contrôleur de Débit massique / débitmètre d07 - 7 est un débitmètre massique thermique, le Contrôleur de Débit massique peut être appliqué à la mesure et au contrôle de divers gaz, en plus de la mesure, il peut également contrôler avec précision le débit massique du gaz, le débitmètre massique (MFM) peut mesurer avec précision le débit massique du gaz. Le produit d07 - 7 est un produit de base de débitmètre à sept étoiles qui peut répondre aux besoins fondamentaux de mesure et de contrôle du débit des clients.

Détails du produit

Le Contrôleur de Débit massique (Mass Flow Controller en abrégé MFC) est utilisé pour mesurer et contrôler avec précision le débit massique d'un gaz. Ils ont des applications importantes dans la recherche scientifique et la production dans de nombreux domaines tels que l'industrie des semi - conducteurs et des circuits intégrés, la discipline des matériaux spéciaux, l'industrie chimique, l'industrie pétrolière, la médecine, la protection de l'environnement et le vide. Ses applications typiques comprennent: les équipements de processus électroniques tels que la diffusion, l'oxydation, l'épitaxie, CVD、 Gravure plasma, pulvérisation, implantation ionique; Ainsi que les équipements de revêtement, la fusion de fibres optiques, les dispositifs de microréaction, les systèmes de distribution de gaz de mélange, les mesures capillaires, les chromatographes en phase gazeuse et d'autres instruments d'analyse.

D07 - 7 régulateur de Débit massique / débitmètreAvec une haute précision, une bonne répétabilité, une réponse rapide, un démarrage en douceur, une stabilité et une fiabilité élevées, une large plage de pression de travail et d'autres caractéristiques (peut fonctionner à haute pression ou sous vide), son fonctionnement est facile à utiliser, peut être installé n'importe où et est facile à connecter à l'ordinateur pour réaliser le contrôle automatique. Le Contrôleur de Débit massique de la série d07 est généralement utilisé conjointement avec des produits tels que l'afficheur de débit de la série D08, le Contrôleur et l'afficheur étant connectés par un câble spécial.

Caractéristiques:

• MFC pour joints en caoutchouc, circuits analogiques

• shunt tubulaire pour une longue durée de vie

D07 - 7 régulateur de Débit massique / débitmètreParamètres techniques :

numéro	type	D07-7K 型	Modèle d07 - 7b	Modèle d07 - 7C	Modèle d07 - 7CM
1	Spécifications de flux	(20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM	(0 ~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM	(0 ~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM	(0 ~ 5,10,20,30,50100200300500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
2	Précision	±1 % F.S.	±1,5 % F.S.	±1,5 % F.S.	±1,5 % F.S.
3	Linéaire	±1 % F.S.	±1 % F.S.	±1 % F.S.	±1 % F.S.
4	Précision de répétition	±0,2 % F.S.	±0,2 % F.S.	±0,2 % F.S.	±0,2 % F.S.
5	Temps de réponse	Caractéristiques électriques: 10 sec; Caractéristiques du gaz: ≤ 4 sec	Caractéristiques électriques: 10 sec; Caractéristiques du gaz: ≤ 4 sec	Caractéristiques électriques: 10 sec; Caractéristiques du gaz: ≤ 4 sec	10 secondes
6	Chute de pression d'air	ˉ	ˉ	ˉ	< 0,01 MPa
7	Gamme de pression différentielle de fonctionnement	(0,1 ~ 0,5) MPa	(0,1 ~ 0,5) MPa	(0,1 ~ 0,5) MPa	< 0,01 MPa
8	Coefficient de température	Zéro: ≤±0,1% F.S./℃; Span: ≤ ± 0,2% FS / ℃;	ˉ	ˉ	ˉ
9	Pression maximale de travail	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
10	Résistant à la pression	3 MPa	3 MPa	3 MPa	3 MPa
11	Température de l'environnement de travail	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
12	Signal d'entrée - sortie	0 V ~ +5,00 V (impédance d'entrée supérieure à 100 K et courant de sortie inférieur ou égal à 3 ma)	0 V ~ +5,00 V (impédance d'entrée supérieure à 100 K et courant de sortie inférieur ou égal à 3 ma)	0 V ~ +5,00 V (impédance d'entrée supérieure à 100 K et courant de sortie inférieur ou égal à 3 ma)	0 V ~ +5,00 V (impédance d'entrée supérieure à 100 K et courant de sortie inférieur ou égal à 3 ma)
13	alimentation	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA
14	poids	1,1 kg	1,1 kg	1,1 kg	0,92 kg

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