D07 - 9 régulateur de Débit massique / débitmètre

NégociableMise à jour sur02/09

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Vue d'ensemble

Le Contrôleur de Débit massique / débitmètre d07 - 9 est un débitmètre massique thermique, le Contrôleur de Débit massique peut être appliqué à la mesure et au contrôle de divers gaz, en plus de la mesure, il peut également contrôler avec précision le débit massique du gaz, le débitmètre massique (MFM) peut mesurer avec précision le débit massique du gaz. Les produits d07 - 9 sont des produits analogiques de haute précision et de temps de réponse rapide pour la recherche et le développement de Huawei Electronics.

Détails du produit

Le débitmètre massique (Mass Flow Meter en abrégé MFM) est utilisé pour effectuer des mesures précises du Débit massique d'un gaz; Le Contrôleur de Débit massique (Mass Flow Controller en abrégé MFC) est utilisé pour mesurer et contrôler avec précision le débit massique d'un gaz. Ils ont des applications importantes dans la recherche scientifique et la production dans de nombreux domaines tels que l'industrie des semi - conducteurs et des circuits intégrés, la discipline des matériaux spéciaux, l'industrie chimique, l'industrie pétrolière, la médecine, la protection de l'environnement et le vide. Ses applications typiques comprennent: les équipements de processus électroniques tels que la diffusion, l'oxydation, l'épitaxie, CVD、 Gravure plasma, pulvérisation, implantation ionique; Ainsi que les équipements de revêtement, la fusion de fibres optiques, les dispositifs de microréaction, les systèmes de distribution de gaz de mélange, les mesures capillaires, les chromatographes en phase gazeuse et d'autres instruments d'analyse.

D07 - 9 régulateur de Débit massique / débitmètreAvec une haute précision, une bonne répétabilité, une réponse rapide, un démarrage en douceur, une stabilité et une fiabilité élevées, une large plage de pression de travail et d'autres caractéristiques (peut fonctionner sous haute pression ou sous vide), l'utilisation d'un joint standard international, son fonctionnement est facile à utiliser, peut être installé n'importe où et est facile à connecter à l'ordinateur pour réaliser le contrôle automatique.

Le Contrôleur de Débit massique de la série d07 et le débitmètre massique sont généralement utilisés avec des produits tels que l'afficheur de débit de la série D08, le Contrôleur de contrôle et l'affichage sont reliés par un câble spécial.

caractéristique

• type à débit moyen
• MFC pour joints en caoutchouc, circuits analogiques
• Le shunt n'est pas facile à boucher
• avec prise électrique de type db15, connecteur mécanique standard international

D07 - 9 régulateur de Débit massique / débitmètreParamètres techniques

type	Modèle d07 - 9e	Modèle d07 - 9em	Modèle d07 - 9f	D07-9FM 型
Spécifications de flux	(0 ~ 20,30,50,100,150,200,250) SLM	(0 ~ 20,30,50,100,150,200,250) SLM	0 ~ 20,30,50,100,150,200,250 SLM	0 ~ 20,30,50,100,150,200,250 SLM
Précision	±2 % F. S.	±2 % F. S.	±2 % F. S.	±2 % F. S.
Linéaire	±1 % F. S.	±1 % F. S.	±1 % F. S.	±1 % F. S.
Précision de répétition	±0,2 % F. S.	±0,2 % F. S.	±0,2 % F. S.	±0,2 % F. S.
Temps de réponse	(1 à 4) sec	(1 à 4) sec	≤ 4 secondes	≤4 secondes
Gamme de pression différentielle de fonctionnement	20, 30 SLM: (0,05 ~ 0,30) MPa (7,3 ~ 43,5 psid) 50 150 SLM: (0,10 ~ 0,30) MPa (14,5 ~ 43,5 psid) 200 250 SLM: (0,15 ~ 0,30) MPa (21,8 ~ 43,5 psid)	-	20,30 SLM: (0,05 ~ 0,30) MPa (7,3 ~ 43,5 psid) 50 ~ 150 SLM: (0,10 ~ 0,30) MPa (14,5 ~ 43,5 psid) 200 250 SLM: (0,15 ~ 0,30) MPa (21,8 ~ 43,5 psid)	-
Chute de pression d'air	-	20 ~ 100SLM: < 0,02 MPa (2,9 psid); > 100SLM : < 0,05 MPa (7,3 psid)	-	20 ~ 100SLM: < 0,02 MPa (2,9 psid); > 100SLM : < 0,05 MPa (7,3 psid)
Pression maximale de travail	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
Résistant à la pression	3 MPa (435,1 psig)	3 MPa (435,1 psig)	3 MPa (435,1 psig)	3 MPa (435,1 psig)
Température de l'environnement de travail	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5℃ ~ 45℃	5 ℃ ~ 45 ℃
Signal d'entrée - sortie	0 V ~ +5,00 V (impédance d'entrée supérieure à 100 K et courant de sortie inférieur ou égal à 3 ma)	0 V ~ +5,00 V (impédance d'entrée supérieure à 100 K et courant de sortie inférieur ou égal à 3 ma)	4 ~ 20 ma ou 1 ~ 5 VDC	4 ~ 20 ma ou 1 ~ 5 VDC
alimentation	+15 V 50 mA -15V 400 mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA	24VDC 400 mA	24 VDC 100 mA
poids	2,6 kg	1,5 kg	2,6 kg	1,5 kg

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