Introduction au produit
Le système de purification de gaz de type catalytique à basse température utilise ses propres catalyseurs et adsorbants brevetés, a l'avantage d'une longue durée de vie, d'une profondeur de purification élevée, d'une forte capacité de fluctuation instantanée du gaz de charge antigénique, d'utiliser une combinaison d'adsorption physique et de réaction catalytique, peut purifier H2O, O2, Co, CO2, H2 et mchc dans le gaz inerte et N2 à un niveau inférieur à 1 ppb à température ambiante, peut également éliminer O2, CO2 et H2O dans H2, etc. Le système de jeu est disponible en 3 types de fonctionnement manuels, semi - automatiques et entièrement automatiques, qui peuvent être sélectionnés en fonction des exigences d'utilisation.
Performance du produit
◎ convient pour une utilisation avec du gaz brut d'une pureté d'au moins 99999%
◎ ce produit est une structure double, l'un fonctionne, l'autre régénère la réserve
◎ profondeur de purification élevée, teneur en impuretés diverses exportées < 10ppb ◎ acier inoxydable 316 (l) poli électrochimiquement
◎ filtre à particules haute efficacité intégré
◎ utilisation combinée par catalyse et processus d'adsorption
◎ basse température de fonctionnement, équipement plus économe en énergie
Application du produit
◎ purification du gaz de protection: acier, pétrochimie, Industrie mécanique
◎ haute pureté silicium monocristallin, épitaxie de plaquettes, circuits intégrés à grande échelle, production de produits optoélectroniques et autres purification de terminaux de gaz industriels électroniques
◎ Équipement de processus de semi - conducteur: CVD, MOCVD, hvpe, four de diffusion, etc.
◎ purification de gaz en vrac
Paramètres du système