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Vue d'ensemble

Paramètres de la machine de lithographie de bureau: 1. Zone d'exposition maximale: 160mm * 160mm. ⒉ Résolution d'exposition: 1 µm (colle avec une épaisseur de colle ≤ 0,5 µm). 3. Précision d'alignement: 1um (plaquette de polissage standard). 4. Intensité de la source lumineuse: 35mw / cm2. 5. Longueur d'onde d'exposition: source lumineuse LED (perles de lampe importées, durée de vie 10 000 heures)

Détails du produit

　　Machine de lithographie de bureauparamètres

1. Zone d'exposition maximale: 160mm * 160mm

⒉ Résolution d'exposition: 1µm (colle avec une épaisseur de colle ≤ 0.5um)

3. Précision d'alignement: ± 1um (feuille de polissage de disque standard)

4. Intensité de la source lumineuse: 35mw / cm2

5. Longueur d'onde d'exposition: source lumineuse LED (perles de lampe importées, durée de vie > 10 000 heures)

6. Méthode d'exposition: chronométré (méthode de compte à rebours)

7. Plage de mouvement relatif de l'échantillon de masque: X: meilleur que ± 5 mm;

8.y: meilleur que ± 5 mm; 0: meilleur que ± 6°

9. Taille du masque: 7 pouces, spécifications de l'échantillon: 6 pouces (plaquette)

10. Réglage numérique de l'espace d'alignement et de l'espace d'exposition

11. écart de séparation d'échantillon de masque: 6 = o - 500um réglable en continu

12. Méthode d'alignement: alignement automatique, peut augmenter le type de marque d'alignement selon la demande du client, le cumul ne dépasse pas 4 groupes

13. Feuille de transmission automatique: feuille de transmission automatique de manipulateur (bras mécanique spécial de tranche et fourchette de tranche), avec fonction de positionnement de pré - Alignement

14. Plage de balayage microscopique: Y: ± 40mm (Réglage numérique)

15. Avec exposition flottante à pression positive, exposition de contact dur, exposition de contact de pression, et exposition de proximité quatre fonctions CCD + télécentrique + alignement d'affichage, image optique

16. La pression de contact de nivellement garantit la répétition par le capteur

17. Gamme de distance réglable de double objectif: 30mm - 130mm

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