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Shanghai Yishen Instrument Equipment Co., Ltd
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Machine de gravure au plasma domestique

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Vue d'ensemble
La machine de gravure au plasma domestique Pluto - MH est une plate - forme expérimentale innovante conçue pour les universités, les instituts scientifiques et les laboratoires d'entreprise, ou les entreprises innovantes qui produisent de petites quantités. Pour répondre aux différents besoins de l'utilisateur, nous offrons différents accessoires fonctionnels qui, tout en obtenant des propriétés conventionnelles, ont de nombreuses capacités telles que le revêtement de surface (revêtement), la gravure, la réaction chimique plasma, le traitement par plasma de poudre, etc.
Détails du produit

国产等离子刻蚀机

  Pluto - MH machine de gravure au plasma domestiqueCaractéristiques:
1. Pour une utilisation dans des situations exigeantes pour le traitement plasma
2. La source de plasma n'utilise que le générateur de fréquence radio de 13,56 MHz, qui combine la réaction physique et la réaction chimique
3. Avec une alimentation de puissance de 500W, adaptation automatique de l'impédance, le générateur RF haute puissance peut répondre à diverses exigences expérimentales, garantissant une densité d'énergie élevée et une efficacité de traitement élevée
4. Contrôle de degré de vide de haute précision, adapté à divers besoins de traitement
Cavité en acier inoxydable 5.316 (ou alliage d'aluminium 6061), tuyaux et raccords entièrement en acier inoxydable pour divers gaz (contient des gaz corrosifs)
Écran tactile de qualité industrielle de 6,4,3 pouces, opération facile de logiciel, réglage multiple de paramètre et mode de traitement combiné de processus
7. De nombreux accessoires peuvent être ajoutés, revêtement enduit, contrôle de la température de l'électrode, contrôle de la résistance du plasma, réaction chimique du plasma et d'autres fonctions (s'il y a une application spéciale, veuillez consulter le vendeur)
8. Selon la demande de l'utilisateur, fournir le programme de traitement de plasma correspondant et l'équipement spécial adapté aux besoins du client
  Pluto - MH machine de gravure au plasma domestiqueParamètres:
Spécifications de la cavité à vide: cavité en acier inoxydable 316, diamètre 210mm * (profondeur) 230mm environ 4L
Électrodes: deux électrodes plates adaptatives en alliage d'aluminium t6061 (des électrodes plates non poreuses revêtues de téflon sont disponibles, adaptées aux échantillons nécessitant un traitement double face)
Taille d'électrode: 120 * 135mm espacement 20 ~ 75mm réglable (peut être inversé)
Générateur de plasma: générateur RF RF, fréquence: 13,56 MHz
Puissance: 0 - 500W réglable en continu, adaptation automatique de l'impédance, précision 1W
Contrôle du gaz: vanne de débit de gaz à aiguille, standard avec gaz à 1 voie, tuyaux et raccords entièrement en acier inoxydable
Méthode de contrôle: écran tactile de contrôle industriel de 4,3 pouces
Fonctions du logiciel de contrôle: l'interface affiche l'état de fonctionnement en temps réel,
Les valeurs de réglage et réelles peuvent être affichées pour un contrôle facile en temps réel.
La puissance de plasma peut être réglée librement, le temps de passage dans le gaz
Autorisations de fonctionnement à plusieurs niveaux, contrôle combiné de plusieurs paramètres de processus,
Contrôle entièrement manuel et contrôle entièrement automatique en option
Dispositif de protection: un bouton de protection d'arrêt d'urgence
  (pour des fonctionnalités supplémentaires, veuillez consulter le vendeur)
国产等离子刻蚀机

Pluto - MH machine de gravure au plasma domestiqueDomaines d'application:
Configurer différents modules pour étendre différentes applications
Module d'électrode chauffante - température contrôlable, peut accélérer la vitesse de traitement du plasma et améliorer considérablement l'uniformité du traitement des échantillons
Dépôt de modules de revêtement, modification des caractéristiques de surface:
Dépôt de matériau CF, la surface de l'échantillon peut avoir des propriétés hydrophobes
Dépôt de matériaux contenant du benzène, la surface de l'échantillon joue les caractéristiques d'isolation et d'étanchéité
Dépôt de matériaux contenant des groupes hydroxyles améliorant l'effet de liaison de la surface de l'échantillon et d'autres matériaux
Module de couplage inductif - dispositif plasma à couplage inductif
Dispositif de mélange de gaz
Conception de mélange d'air peut être faite sur demande
Purification des gaz et réaction
Purification de gaz et utilisation de plasma pour la réaction chimique avec des matériaux connexes