Spectrométrie de masse dynamique à ions secondaires D - Sims | Beam encenson instruments

Conçu pour l'injection de semi - conducteurs peu profonds et l'analyse automatique de films isolants, l'Adept - 1010 est un outil couramment utilisé dans la plupart des laboratoires de développement et de soutien de semi - conducteurs. La sensibilité requise pour la détection des composants dopants et des impuretés communes dans les structures en couches minces est fournie grâce à une optique de collecte d'ions secondaires optimisée et à une conception sous vide ultra - élevé.

Le spectromètre de masse à ions secondaires dynamiques (Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry ou D - Sims) est une technologie d'analyse de surface hautement sensible pour l'analyse de la composition des matériaux solides.

Conçu pour l'injection de semi - conducteurs peu profonds et l'analyse automatique de films isolants, l'Adept - 1010 est un outil couramment utilisé dans la plupart des laboratoires de développement et de soutien de semi - conducteurs. La sensibilité requise pour la détection des composants dopants et des impuretés communes dans les structures en couches minces est fournie grâce à une optique de collecte d'ions secondaires optimisée et à une conception sous vide ultra - élevé.

Principe de fonctionnement:

Un spectromètre de masse dynamique à ions secondaires permet aux atomes ou aux molécules de la surface de l'échantillon d'être pulvérisés en bombardant la surface de l'échantillon à l'aide d'un faisceau focalisé d'ions primaires de haute énergie tels que o₂, CS, AR, etc. Dans ce processus, les particules éjectées par une éclaboussure partielle sont chargées électriquement, formant des ions secondaires. Ces ions secondaires sont recueillis et transmis à un spectromètre de masse pour analyse, qui permet de déterminer la composition chimique et la distribution élémentaire de l'échantillon.