La conception compacte du diaphragme motorisé (NID), la large plage réglable en taille d'ouverture du diaphragme et son propre capteur de déplacement garantissent une excellente Répétabilité et stabilité. Le produit est disponible en versions atmosphérique, à vide élevé et à vide ultra - élevé.
Diaphragme électrique(NID)La conception compacte, la large plage réglable de taille d'ouverture du diaphragme et son propre capteur de déplacement garantissent une excellente Répétabilité et stabilité. Le produit est disponible en versions atmosphérique, à vide élevé et à vide ultra - élevé.
Diaphragme électrique(NID)Pour:
| Vue générale |
|
| Taille d'ouverture [mm] |
0... 24 |
| Dimensions extérieures [mm] |
56 x 56 x 19 |
| Poids [g] |
100 |
| 定位性能 |
|
| Vitesse maximale en boucle fermée [mm / s] |
> 3 |
| Résolution de positionnement en boucle fermée [um] |
< 2 |
| Précision de positionnement répétitif unidirectionnel [um] |
30 |
| Sélection |
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| matière |
Standard équipé d'une base en aluminium; Disponible en option avec siège en acier (- ST), base en titane (- TI); Toutes anodisées en noir (- BK) |
| Compatible avec le vide (Hv) |
1E à 6 mbar |
| 高真空兼容 (UHV) |
1E à 10 mbar |
| Sans magnétisme |
Personnalisable sur demande |
* Tous les paramètres des spécifications techniques sont approximatifs et, en raison de la recherche et du développement continus des produits, nous nous réservons le droit de modifier les spécifications techniques sans préavis.