Fibre optique enroulement filament mono - cible magnétron revêtement par pulvérisation est un appareil pour la préparation de films minces. Il peut former à la surface du substrat une couche de film homogène, dense, mince et présentant des propriétés particulières.
Instrument de revêtement par Pulvérisation magnétron à une cible autour de fibre optiqueEst une technique courante de dépôt en phase substance (PVD) utilisée pour la préparation de divers matériaux en couches minces. Cela fonctionne en utilisant une technique appelée Pulvérisation magnétron qui pulvérise une cible en métal ou en alliage de haute pureté pour générer des ions et des atomes neutres et les dépose sur un substrat pour former un film mince. Dans un tel système de pulvérisation, on utilise une seule cible, généralement en forme de disque de métal ou d'alliage, pour accélérer et pulvériser les particules à la surface de la cible vers le substrat en appliquant une haute tension et un champ magnétique sur la cible. Comme le substrat est généralement traité à haute température, les particules métalliques pulvérisées se propagent rapidement et forment un film homogène.
Pour augmenter la vitesse de pulvérisation et la qualité de la membrane, la technologie de bobinage de fibre optique y est introduite. Dans la technologie de bobinage de fibre optique, les fibres sont enroulées entre la cible et le substrat, créant une mince fente. En ajustant la distance entre la cible et le substrat et en contrôlant l'énergie de pulvérisation, il est possible de mieux contrôler l'épaisseur et la composition du film mince déposé sur le substrat.
Instrument de revêtement par Pulvérisation magnétron à une cible autour de fibre optiqueEst un appareil pour la préparation de films minces. Il peut former à la surface du substrat une couche de film homogène, dense, mince et présentant des propriétés particulières.
Ce système de pulvérisation est idéal pour la préparation de films métalliques et d'alliages de haute qualité, de haute pureté et de bonne uniformité, largement utilisés dans la microélectronique, l'optique, les batteries, les cellules solaires et d'autres domaines.
1. Préparation de film optique: utilisé pour faire le film optique hautement réfléchissant, antireflet et ainsi de suite.
2. Préparation de dispositifs électroniques: pour la préparation de dispositifs semi - conducteurs, de films conducteurs, etc.
3. Préparation optique: utilisé pour préparer des cellules solaires, des écrans à cristaux liquides, des LED et d'autres dispositifs.
Préparation du revêtement 4.protective: utilisé pour préparer le revêtement avec des propriétés telles que imperméable à l'eau, résistant à l'huile, anti - UV, anti - abrasion, etc.
Dans l'ensemble, l'instrument de revêtement par pulvérisation de fil à fibre magnétron à cible unique est largement utilisé dans la préparation de films minces dans les domaines de la recherche scientifique et de l'industrie.

Paramètres techniques de l'enrouleur de pulvérisation de fil de fibre à commande magnétique à cible unique:
Modèle du produit |
CY-MSZ180-I-DC-SS |
Tension d'alimentation |
AC220V, 50Hz |
Puissance de la machine entière |
2 kW |
Mécanisme d'enroulement de fil |
taille |
Φ15mmx245mm |
Vitesse d'enroulement du fil |
1-300r/min |
Tête de Pulvérisation magnétron |
quantité |
2 pouces x1 |
Mode de refroidissement |
Refroidissement par eau |
Cavité à vide |
Taille de la cavité |
Φ213mmX307mm |
Fenêtre d'observation |
φ80mm |
Mode d'ouverture |
Haut ouvert, gauche ouvert |
Matériau de la cavité |
Acier inoxydable 304 |
Configuration de puissance |
Quantité d'alimentation DC |
1 unité |
Puissance de sortie |
≤300W |
Méthode de Matching |
Correspondance automatique |
Système de refroidissement par eau |
Volume du réservoir d'eau |
9L |
trafic |
10L/min |
Système d'alimentation en gaz |
type |
Valve de microrégulation manuelle |
Système de vide |
Pompe de l'étage avant |
Pompe à rotule bipolaire |
Vitesse de pompage |
1.1L/s |
Pompe secondaire |
Pompe turbomoléculaire |
Vitesse de pompage |
60L/s |
Orifice d'extraction d'air |
ISO 63 |
Sortie d'air |
KF16 |
Compteur de vide |
Vacuomètre Composite |