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Zhengzhou chengye instruments scientifiques Co., Ltd
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Instrument de revêtement par Pulvérisation magnétron à une cible autour de fibre optique

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Vue d'ensemble
Fibre optique enroulement filament mono - cible magnétron revêtement par pulvérisation est un appareil pour la préparation de films minces. Il peut former à la surface du substrat une couche de film homogène, dense, mince et présentant des propriétés particulières.
Détails du produit

Instrument de revêtement par Pulvérisation magnétron à une cible autour de fibre optiqueEst une technique courante de dépôt en phase substance (PVD) utilisée pour la préparation de divers matériaux en couches minces. Cela fonctionne en utilisant une technique appelée Pulvérisation magnétron qui pulvérise une cible en métal ou en alliage de haute pureté pour générer des ions et des atomes neutres et les dépose sur un substrat pour former un film mince. Dans un tel système de pulvérisation, on utilise une seule cible, généralement en forme de disque de métal ou d'alliage, pour accélérer et pulvériser les particules à la surface de la cible vers le substrat en appliquant une haute tension et un champ magnétique sur la cible. Comme le substrat est généralement traité à haute température, les particules métalliques pulvérisées se propagent rapidement et forment un film homogène.

Pour augmenter la vitesse de pulvérisation et la qualité de la membrane, la technologie de bobinage de fibre optique y est introduite. Dans la technologie de bobinage de fibre optique, les fibres sont enroulées entre la cible et le substrat, créant une mince fente. En ajustant la distance entre la cible et le substrat et en contrôlant l'énergie de pulvérisation, il est possible de mieux contrôler l'épaisseur et la composition du film mince déposé sur le substrat.

Instrument de revêtement par Pulvérisation magnétron à une cible autour de fibre optiqueEst un appareil pour la préparation de films minces. Il peut former à la surface du substrat une couche de film homogène, dense, mince et présentant des propriétés particulières.

Ce système de pulvérisation est idéal pour la préparation de films métalliques et d'alliages de haute qualité, de haute pureté et de bonne uniformité, largement utilisés dans la microélectronique, l'optique, les batteries, les cellules solaires et d'autres domaines.

1. Préparation de film optique: utilisé pour faire le film optique hautement réfléchissant, antireflet et ainsi de suite.

2. Préparation de dispositifs électroniques: pour la préparation de dispositifs semi - conducteurs, de films conducteurs, etc.

3. Préparation optique: utilisé pour préparer des cellules solaires, des écrans à cristaux liquides, des LED et d'autres dispositifs.

Préparation du revêtement 4.protective: utilisé pour préparer le revêtement avec des propriétés telles que imperméable à l'eau, résistant à l'huile, anti - UV, anti - abrasion, etc.

Dans l'ensemble, l'instrument de revêtement par pulvérisation de fil à fibre magnétron à cible unique est largement utilisé dans la préparation de films minces dans les domaines de la recherche scientifique et de l'industrie.

光纤绕丝单靶磁控溅射镀膜仪

Paramètres techniques de l'enrouleur de pulvérisation de fil de fibre à commande magnétique à cible unique:

Modèle du produit

CY-MSZ180-I-DC-SS

Tension d'alimentation

AC220V, 50Hz

Puissance de la machine entière

2 kW

Mécanisme d'enroulement de fil

taille

Φ15mmx245mm

Vitesse d'enroulement du fil

1-300r/min

Tête de Pulvérisation magnétron

quantité

2 pouces x1

Mode de refroidissement

Refroidissement par eau

Cavité à vide

Taille de la cavité

Φ213mmX307mm

Fenêtre d'observation

φ80mm

Mode d'ouverture

Haut ouvert, gauche ouvert

Matériau de la cavité

Acier inoxydable 304

Configuration de puissance

Quantité d'alimentation DC

1 unité

Puissance de sortie

≤300W

Méthode de Matching

Correspondance automatique

Système de refroidissement par eau

Volume du réservoir d'eau

9L

trafic

10L/min

Système d'alimentation en gaz

type

Valve de microrégulation manuelle

Système de vide

Pompe de l'étage avant

Pompe à rotule bipolaire

Vitesse de pompage

1.1L/s

Pompe secondaire

Pompe turbomoléculaire

Vitesse de pompage

60L/s

Orifice d'extraction d'air

ISO 63

Sortie d'air

KF16

Compteur de vide

Vacuomètre Composite