La machine de mastic à ultrasons à quatre têtes de pulvérisation spin Coater est une extrémité Gao, un semi - conducteur de haute précision et un équipement de micro - nanotraitement pour l'application de colle lithographique ou d'autres liquides fonctionnels sur le substrat
Machine à coller ultrasonique à quatre têtes de pulvérisation machine à enduire par rotationC'est un gaoduan, semi - conducteur de haute précision et équipement de micro et Nano - usinage pour l'application de la colle de lithographie ou d'autres liquides fonctionnels sur le substrat. Il représente la dernière évolution de la technologie d'encollage, en particulier pour l'encollage de structures complexes et de substrats non plans.
Les mastics traditionnels n'ont généralement qu'une tête de goutte fixe ou une tête de pulvérisation statique, qui recouvre la colle photolithographique sur le substrat par une goutte centrale ou une pulvérisation statique, puis uniformise l'étalement colloïdal par la force centrifuge générée par la rotation à grande vitesse.
La colleuse ultrasonique à quatre jets est une conception révolutionnaire. Il intègre les composants de base suivants:
Quatre têtes de pulvérisation piézoélectriques à ultrasons indépendantes: C'est l'origine de son nom. Chaque tête de pulvérisation est une unité de distribution de liquide indépendante et précise.
Bras robotisés de haute précision: ces quatre têtes de pulvérisation sont montées sur un bras robotisé à plusieurs degrés de liberté qui permet de contrôler avec précision les mouvements tridimensionnels complexes des têtes de pulvérisation au - dessus du substrat.
Technologie de nébulisation ultrasonique: utilise des vibrations ultrasoniques à haute fréquence pour « déchirer» un liquide en gouttelettes extrêmement minuscules et uniformes en forme de brouillard (généralement d’un diamètre de l’ordre du micron), qui sont ensuite éjectées à travers un gaz porteur.
Système de contrôle collaboratif: un système logiciel sophistiqué qui contrôle de manière synchrone les interrupteurs de chaque tête de pulvérisation, le débit et la trajectoire du bras robotique.
Résumé du principe de fonctionnement:
Il ne s’agit pas simplement de déposer de la colle au Centre, mais comme une pièce. »3DImprimante "ou" imprimante à jet d'encre ", comme dans le cas d'une" imprimante à jet d'encre ", la pulvérisation à balayage sur la surface du substrat est effectuée en suivant une trajectoire prédéfinie, en contrôlant par programme les quatre têtes de pulvérisation. Chaque tête de pulvérisation peut fonctionner indépendamment ou en collaboration, ce qui permet une uniformité et une flexibilité de revêtement sans précédent pour Qian.
II. Principaux avantages:
Comparé à la machine d'encollage traditionnelle, la machine d'encollage ultrasonique à quatre jets a des avantages écrasants:
1.Uniformité du Jigao:
2.Zuo plus la couverture des marches et la conformabilité:
3.Ji haute utilisation des matériaux:
4.Excellente compatibilité et flexibilité:
5.Réduction des défauts:
Iii. Domaine d'application de la machine:
En raison de ses avantages techniques uniques, la machine de mastic ultrasonique à quatre jets est principalement utilisée dans les domaines de la technologie de pointe nécessitant des exigences élevées en matière de processus de collage:
1.* fabrication de semi - conducteurs:
2.MEMS(systèmes micro - électromécaniques)
3.Semi - conducteurs composés et dispositifs de puissance:
4.Dispositifs photoniques et composants optiques:
5.Technologie d'affichage:
6.Recherche scientifique et explorations de pointe:
Quatre.Machine à coller ultrasonique à quatre têtes de pulvérisation machine à enduire par rotationParamètres techniques :
Nom du produit |
Machine à coller ultrasonique à quatre Jets |
Modèle du produit |
CY-300SS-4 |
Machine à coller |
Taille du cristal rond |
12pouce |
Matériau de la cavité |
Polytétrafluor |
Température de chauffage |
≤ 200℃ (peut être utilisé pendant une heure) |
Précision du contrôle de la température |
+/- 0,1ºC |
Mode de chauffage |
Élément chauffant infrarouge |
Durée du revêtement |
0 à 60Secondes (réglable) |
Épaisseur du revêtement |
≤100 nm(dépend de votre processus de traitement) |
Vitesse de rotation |
30 ~ 6000rpmRéglable |
Accélération de rotation |
30~2000rpm/sRéglable |
Résolution de la vitesse de rotation |
1rpm |
Temps maximum d'encollage en une seule fois |
des années 3000 |
Ventouse à vide |
un morceau2,5 x 2,5 cm, un morceau de10x10cm |
Mode de contrôle de la température |
AIPContrôle intelligent de la température |
Mode de fonctionnement |
7 Pouces HDécran LCDÉcran tactile |
Panneau de contrôle |
Écran tactile haute définitionPLCLe panneau de commande peut régler la pulvérisation, le programme de déshydratation et le contrôle de la température |
Ventouse mécanique pure spéciale pour distributeur |
12 Pouces par morceau (nécessite une personnalisation supplémentaire);6 Pouces un morceau (nécessite une personnalisation supplémentaire) |
Pompe à vide sans huile |
Modèle :AP-2000V
Puissance:0,55 kw
Zui faible degré de vide:- 700 mm de mercure;- 92Kpa
Flux les plus atmosphériques:200L/min;12M3/h
Poids:10 kg
|
Dimensions extérieures |
1200x1000x1050mm |
Système ultrasonique |
quantité |
4un |
Matériau de la tête d'atomisation |
Alliage de titane |
fréquence |
120 kHz |
puissance |
130W |
trafic |
0,01-20ml/min |
Diamètre des particules |
20 à 25um |
Largeur de pulvérisation |
2 à 20 mm |
Type de tête d'atomisation |
Type de cône |
Pompe à injection |
Gamme de flux |
50 ml/min |
Spécifications de la pompe d'injection |
10 ml Précision+/- 0,01 mL |
Spécifications de la pompe d'injection |
100 mlPrécision+/- 0,01 mL |
Gamme de vitesse de ligne |
5um/min-65um/min |
Résolution de régulation de vitesse de ligne |
5um/min |
Itinéraire maximum |
140 mm |
Résolution du voyage |
0,156um |
Poussée linéaire nominale |
>90N |
Débitmètre |
Contrôle des types de gaz |
2Espèce |
Débit de gaz |
16-160mL/min |