Débitmètres massiques de gaz et MFC pour chambres à dépression ou à vide

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Vue d'ensemble

Débitmètre massique de gaz et MFC pour chambre à pression négative ou à vide: $R $n ◆ précision supérieure, réponse plus rapide, avec port de filet; $R $n ◆ shunt tubulaire, pas facile à boucher; $R $n ◆ convient à toutes sortes de tuyaux basse et haute pression, ainsi qu'à l'environnement d'aspiration; $R $n ◆ temps de préchauffage court, zéro dérive petit, haute fiabilité; $R $n ◆ l'entrée / sortie de la quantité analogique peut contrôler et afficher le trafic à l'aide d'une table secondaire ou d'un ordinateur de trafic; $R $n ◆ communication numérique RS485 / 232 Modbus, Profibus, devicenet et autres protocoles facultatifs;

Détails du produit

Un,Débitmètres massiques de gaz et MFC pour chambres à dépression ou à vide Aperçu du produit:

1, plus de précision, réponse plus rapide, avec port de maille;

2, shunt tubulaire, pas facile à boucher;

3, approprié à toutes sortes de tuyaux à basse et haute pression et à l'environnement d'aspiration;

4, temps de préchauffage court, dérive zéro petite, haute fiabilité;

5, l'entrée / sortie de quantité analogique peut contrôler et afficher le trafic à l'aide d'un compteur secondaire ou d'un ordinateur de débit;

6, communication numérique RS485 / 232 Modbus, Profibus, devicenet et d'autres protocoles sont facultatifs;

II. Application du produit:

Revêtement sous vide / énergie solaire, hydrogène et autres nouvelles énergies / semi - conducteurs / pétrochimie chimie fine / métallurgie électrique

Protection de l'environnement / emballage alimentaire / biomédecine / nouveaux matériaux / fabrication industrielle / divers instruments d'analyse / système de distribution de gaz

Trois,Débitmètres massiques de gaz et MFC pour chambres à dépression ou à videParamètres du produit:

Gamme complète: 2sccm ~ 300slm

Précision: ± 0,5% f.s

Linéarité: ± 0,5% f.s

Précision de répétition: ± 0,2% f.s

Temps de réponse: débitmètre: < 0,1 s; régulateur de débit: < 0,2 s

Quantité numérique: RS232 / 485, Protocole Modbus

Quantité analogique: 0 ~ 5V, 4 - 20MA, 1 ~ 5V

Alimentation: ± 15vdc, 24VDC

Température de fonctionnement: 0 ~ 50 ℃

Perte de pression de fonctionnement: < 0.01mpa (débitmètre)

Différence de pression de fonctionnement: 0.1 ~ 0.5mpa (Contrôleur de débit)

Résistance à la pression: 3mpa / 10mpa

Taux de fuite: 1 × 10 - 9sccshe

Coefficient de température: ± 0025% f.s / ℃

Matériel de base: acier inoxydable

Matériau d'étanchéité: caoutchouc fluoré, néoprène, caoutchouc nitrile, polytétrafluoroéthylène, perfluoroéther ffkm / FFPM, etc.

Raccords: φ3, φ6, 1 / 8 ', 1 / 4', 3 / 8 ', 1 / 2'... Carters, brides, Inserts rapides, pagodes, etc...

Si les exigences de performance requises diffèrent de celles décrites ci - dessus, la personnalisation peut être communiquée.

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