Équipement de préparation barométrique de substrats céramiques en Nitrure de silicium

Équipement de préparation barométrique de substrats céramiques en Nitrure de siliciumUtilisation et caractéristiques:

Mise en forme par frittage sous pression d'air d'un substrat céramique en Nitrure de silicium.

(1) structure horizontale, composée du corps du four, de l'unité de chauffage, du système de vide, du système de contrôle de l'atmosphère, etc.

(2) Le matériau de la coque du four est en acier de récipient à pression 16MnR ou en acier inoxydable 304.

(3) le générateur de chaleur est en graphite isostatique, la couche d'isolation est en feutre de graphite, en composite de fibre de carbone à accumulation profonde, etc.

(4) équipé d'un débitmètre massique de gaz à haute pression importé pour réaliser un frittage stable sous atmosphère de processus dynamique.

(5) Technologie de contrôle précis de la température du four infrarouge sous atmosphère haute pression, structure de purge infrarouge spéciale pour assurer un frittage stable à long terme à la température maximale de 2100 ℃ (pas plus de 2 MPa).

Spécifications principales de l'équipement de préparation de pression d'air de substrat en céramique de nitrure de silicium:

Température de conception 2100 ℃, vide PA, les dimensions de la zone de chargement sont (longueur largeur hauteur): 400 × 250 × 250 mm, 500 × 450 × 450 mm, 1250 × 500 × 500 mm, 1400 × 600 × 600 mm