Liquide de broyage grosses particules compteur de particules liquides

Liquide de broyage grosses particules compteur de particules liquides

Liquide de broyage grosses particules compteur de particules liquidesPrésentation du produit: intégration commercialeLa fabrication des circuits dépend essentiellement des propriétés physiques et chimiques des particules de boue Abrasive qui polissent la surface de la plaquette de silicium à une planéité proche de la planéité atomique par Planarisation mécano - chimique (CMP). La pâte Abrasive (Slurry) contient relativement peu de particules > 1,0 µm (par exemple, silice, alumine) qui peuvent causer des microrayures lors du traitement de Planarisation de la surface de la plaquette. Par conséquent, le comptage des grosses particules (LPC) des particules de Slurry (Abrasive Slurry) est un facteur clé dans le processus CMP.

Liquide de broyage granulomètre liquide à grosses particulesPrincipe de détection du compteur à:Le liquide de mesure s'écoule à travers une cellule de circulation munie d'un verre optique de part et d'autre, le faisceau du laser est collimaté par l'ensemble de lentilles, le faisceau traverse la cellule de circulation et illumine le piège à lumière. S'il n'y a pas de particules dans le liquide à mesurer, le photodétecteur ne reçoit pas de signal lumineux, s'il y a des particules dans le liquide, les particules traversent la cellule de circulation et un phénomène d'occultation ou de diffusion avec le faisceau laser se produit. Les signaux d'occultation et de diffusion à un (ou plusieurs) angle (s) convergent vers le photodétecteur à travers la collection de lentilles, produisant des impulsions de signal électrique positives dont l'amplitude et l'intensité lumineuse sont proportionnelles. En fonction de l'amplitude et du nombre de signaux, une détection par comptage de particules minuscules dans un liquide est possible. La méthode de photorésistance détecte principalement les particules plus grosses au - dessus de 2 μm et la méthode de diffusion de la lumière détecte principalement les particules inférieures à 2 μm. La détection de fusion intelligente des deux moules permet une gamme de détection de particules plus large et plus précise, laissant les particules nulle part où aller. Le compteur de particules liquides PLD - FX - 801 est basé sur le principe de détection à double mode de la méthode de diffusion de la lumière et de la méthode de résistance à la lumière, avec un capteur de détection de particules étroites à double laser de huitième génération de la technologie de base de plotter, un double contrôle de débit précis et un système de dilution automatique hors ligne, qui peut être utilisé pour évaluer les particules désagréables dans le liquide abrasif et la concentration de ces particules. Le compteur de particules liquides PLD - FX - 801 peut nous aider à identifier la source de contamination des particules dans notre système, à évaluer l'efficacité de la filtration et à réduire les risques associés à la sélection de particules indésirables.

Liquide de broyage granulomètre liquide à grosses particulesApplications typiques du compteur:Appliqué à CMP pou Provisioning preparagraphe - la large partie de Slurry provoquant scratch & Defect est détectée à la sortie finale du périphérique d'alimentation, ce qui évite les accidents; Application à la détection de la distinction entre Slurry bon / mauvais test, bon / mauvais slurry, l'analyse du côté de l'alimentation pour prévenir les accidents; Application à l'analyse de surveillance des particules dans l'eau pure dans l'industrie des semi - conducteurs électroniques; Application à l'analyse de surveillance des particules dans les produits chimiques électroniques dans l'industrie des semi - conducteurs électroniques; Efficacité de filtration appliquée à l'industrie de la filtration ainsi qu'à la surveillance de l'intégrité des membranes; Application pour la purification de l'eau dans les usines de purification de l'eau, l'eau recyclée dans les aciéries, l'eau du robinet, etc.

Caractéristiques de performance double modeFormule: principe de détection, permettant aux particules de se former nulle part;Taille de particules standard de 0,5 à 100 μm, plage de surveillance des particules ultra - large; Contrôle précis du débit pour rendre les données de surveillance plus constantes et plus stables; Système de dilution automatique hors ligne, adapté aux particules à très haute concentration; Le débit élevé garantit un temps de nettoyage rapide et la pureté du système; Le taux d'échec de la conception intégrée de l'instrument garantit un faible coût de maintenance; Calibration de la boule de latex, traçable à la norme NIST; Observation en temps réel de la taille des particules, du nombre et de l'analyse des tendances des particules dans le Slurry broyé; Alarme de limite de réglage flexible, réponse rapide au changement dynamique; Optionnel avec mode de communication flexible pour réaliser la gestion de la modernisation de l'usine;

Paramètres techniques

Capteur: détecteur de lumière étroit à double laser de 8e génération (plus précis, plus stable et plus rapide)

∝ principe de test: double mode de résistance et de diffusion de la lumière

∝ Échantillons testés: eau et solvants organiques

∝ plage de détection: 0,5 - 100 μm

∝ nombre de canaux: 1000 canaux peuvent être réglés arbitrairement 16

∝ temps de détection: 5S ~ personnalisé

∝ précision de la taille des particules: ≥ 90%

∝ précision de comptage: ± 3%

∝ précision d'échantillonnage: ± 1%

∝ débit d'échantillonnage: 5ml / min ~ 150ml / min

∝ méthode de dosage: en ligne / hors ligne, dilué / direct

∝ méthode d'alarme: alarme acoustique et optique, alarme de fuite de liquide, alarme de restriction de particules

∝ système de contrôle: système d'exploitation Windows

∝ mode de communication: tcpip standard; En option: RS232 / RS485 / 4 - 20MA

Configuration de commande

Configuration standard:

Détecter un ensemble d'hôtes;

Installation d'un ensemble de consommables de mise en service;

Ensemble de documents papier d'usine.

Module de régulation de pression d'entrée.

Cas d'application

Lorsqu'il est déterminé en ligne ou hors ligne, il peut Les données LPC générées par l'échange de filtres ou les changements d'événements de périphériques d'alimentation tels que charge permettent de surveiller efficacement le niveau de Slurry.