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Téléphone
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Adresse
5ème étage, route 4855 guangfulin, district de Songjiang, Shanghai
Catégories de produits
Bannai automation instrument (Shanghai) Co., Ltd
Japon horibastec - 8440f8450 Contrôleur de Débit massique haute température
NégociableMise à jour sur05/24
- Modèle
- Nature du fabricant
- producteurs
- Catégorie de produit
- Lieu d'origine
Vue d'ensemble
Japon horibastec - 8440f8450 Contrôleur de Débit massique haute température
Détails du produit
Résumé
Un débitmètre massique est un appareil utilisé pour mesurer ou contrôler le débit de gaz. Le débit est généralement divisé en débit volumique et en Débit massique, mais le volume de gaz est sensible à la température et à la pression extérieures, si une mesure précise est requise, les conditions de mesure doivent être constamment modifiées pour correspondre à l'environnement extérieur en constante évolution. Et le débit massique est l'utilisation de mesurer la qualité du gaz, et la qualité n'est pas affectée par l'environnement extérieur, de sorte que la détection et le contrôle du débit de haute précision peuvent être fournis, et il existe une large utilisation dans les processus de fabrication de semi - conducteurs.
Caractéristiques
Il s'agit d'un régulateur de Débit massique équipé d'une vanne piézoélectrique qui peut être utilisé dans un environnement à haute température.
1.suitable à haute température: peut répondre à 150 ℃ cuisson
2. Il y a des modèles de produits dans la gamme qui peuvent répondre à la température d'utilisation
3. Type ultra propre: joint d'air entièrement en acier inoxydable Construction
4. Le meilleur pour le contrôle de débit des matériaux organométalliques, des matériaux à faible pression de vapeur, des gaz corrosifs pour MOCVD
Spécifications
Produits graphiques et autres
Un débitmètre massique est un appareil utilisé pour mesurer ou contrôler le débit de gaz. Le débit est généralement divisé en débit volumique et en Débit massique, mais le volume de gaz est sensible à la température et à la pression extérieures, si une mesure précise est requise, les conditions de mesure doivent être constamment modifiées pour correspondre à l'environnement extérieur en constante évolution. Et le débit massique est l'utilisation de mesurer la qualité du gaz, et la qualité n'est pas affectée par l'environnement extérieur, de sorte que la détection et le contrôle du débit de haute précision peuvent être fournis, et il existe une large utilisation dans les processus de fabrication de semi - conducteurs.
Caractéristiques
Il s'agit d'un régulateur de Débit massique équipé d'une vanne piézoélectrique qui peut être utilisé dans un environnement à haute température.
1.suitable à haute température: peut répondre à 150 ℃ cuisson
2. Il y a des modèles de produits dans la gamme qui peuvent répondre à la température d'utilisation
3. Type ultra propre: joint d'air entièrement en acier inoxydable Construction
4. Le meilleur pour le contrôle de débit des matériaux organométalliques, des matériaux à faible pression de vapeur, des gaz corrosifs pour MOCVD
Spécifications
| Sec - 8340sl avec chauffe - corps | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 80 ~ 100 ℃ |
| SEC-8340SM Chauffeur de corps équipé | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 100 ~ 120 ℃ |
| Séc-8440LSL | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 15 ~ 35 ℃ |
| Séc-8450LSL | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 10/20 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 15 ~ 35 ℃ |
| SEC-8455LSL | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 30/50 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 15 ~ 35 ℃ |
| Séc-8460LSL | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 50/100 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 15 ~ 35 ℃ |
| Séc-8440LSM | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 35 ~ 60 ℃ |
| Séc-8450LSM | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 10/20 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 35 ~ 60 ℃ |
| SEC-8455LSM | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 30/50 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 35 ~ 60 ℃ |
| Séc-8460LSM | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 50/100 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 35 ~ 60 ℃ |
| SEC-8440LSH | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 60 ~ 80 ℃ |
| SEC-8450LSH | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 10/20 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 60 ~ 80 ℃ |
| SEC-8455LSH | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 30/50 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 60 ~ 80 ℃ |
| SEC-8460LSH | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 50/100 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 60 ~ 80 ℃ |
| Séc-8440SL | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 80 ~ 100 ℃ |
| Séc-8450SL | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 3/5/10 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 80 ~ 100 ℃ |
| Séc-8455SL | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 10/20 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 80 ~ 100 ℃ |
| Séc-8460SL | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 20/30/50 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 80 ~ 100 ℃ |
| Séc-8440SM | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 100 ~ 120 ℃ |
| Séc-8450SM | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 3/5/10 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 100 ~ 120 ℃ |
| SEC-8455SM | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 10/20 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 100 ~ 120 ℃ |
| Séc-8460SM | |
| Matériaux du Département de contact de gaz | SUS-316L |
| Type de valve | No: non alimenté: on |
| Gamme de débit standard | 20/30/50 SLM |
| Gamme de contrôle de flux | 2 à 100% F.S. (pleine échelle) |
| Précision du débit | ± 1,0% F.S. (pleine échelle) température d'utilisation: 100 ~ 120 ℃ |
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