Japon horibastec - z512mgx Contrôleur de Débit massique numérique

Résumé
Les débitmètres massiques sont des composants très critiques dans les équipements de fabrication de semi - conducteurs. Son fonctionnement stable ou non devient souvent un facteur clé dans le succès ou l'échec des processus de semi - conducteurs.
HORIBA STEC, En tant que producteur de débitmètres avec une part de marché mondiale de plus de 35% * 1, il fournit depuis longtemps des produits polyvalents de haute qualité à l'industrie des semi - conducteurs. Maintenant, avec une toute nouvelle technologie à portée de main, horiba Stec lance un nouveau Contrôleur de Débit massique dans le monde entier: la série z500.
Par rapport aux anciens modèles, la série z500x a réalisé une nouvelle percée et est destinée à changer l'avenir de la technologie de contrôle du débit. Tout en fournissant toutes les fonctions de contrôle de débit requises par le client, la conversion du gaz composite, du débit composite est réalisée. Les clients peuvent facilement modifier les types de gaz et les gammes * 2 du débitmètre en fonction des besoins du processus de fabrication.
En outre, grâce à l'innovation technologique dans les matériaux des produits, la série z500 répond pleinement aux exigences de conception des produits écologiques ROHS, améliorant ainsi la valeur des produits pour les clients.
Débitmètres haute performance de la série z500 qui vous surprendront encore plus. Le monde assiste à la naissance de ce nouveau type de débitmètre massique qui est sur le point de transformer l'ensemble de l'industrie des semi - conducteurs.
* 1 référence à l'étude vlsi's 2007.
* 2 gaz composite, fonction de débit composite.
Caractéristiques
Haute précision: réglage de la valeur du débit ± 1,0%.
La précision linéaire du MFC est compensée par une courbe d'approximation polynomiale, une technologie qui garantit une grande précision de contrôle dans chaque plage de contrôle. Afin d'améliorer la précision du contrôle de diverses espèces de gaz réels, horiba Stec a développé des systèmes de mesure de gaz standard et, sur la base de nombreuses expériences, a acquis des données d'étalonnage pour divers gaz de fabrication.
Réponse haute vitesse
Le sec - z500x utilise le dernier système PID modifiable, qui garantit que le changement entre deux points de débit de consigne est effectué en moins d'une seconde, lorsque différents débits sont réglés, les données PID sont automatiquement ajustées, même après un changement de type de gaz et de plage de débit, les données PID sont automatiquement optimisées Pour une réponse à haute vitesse.
Gaz composite, schéma de débit Composite
Les nouveaux produits horiba Stec permettent aux clients de changer facilement les types et les débits de gaz sur le site. Notre logiciel de configuration z500 est simple et facile à utiliser. Mieux encore, l'achèvement de ces changements ne nécessite même pas le retrait du MFC du système. De cette façon, vous pouvez réduire considérablement la quantité de fournitures pour les clients, tout en économisant du temps et des coûts.
Produits graphiques et autres