Japon horibastece40mk3 / e50mk3 Contrôleur de Débit massique

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Japon horibastece40mk3 / e50mk3 Contrôleur de Débit massique

Détails du produit

Contrôleur de débit japonais horiba stec e40mk3 / e50mk3
Le régulateur de débit japonais horiba stec e40mk3 / e50mk3 est un produit de production de masse qui permet une réduction complète des coûts dans des conditions qui ne changent pas les caractéristiques de qualité requises pour les régulateurs de Débit massique. Les spécifications relatives aux matériaux et aux fuites sont entièrement conformes aux séries sec - 400 et sec - 500 des modèles généraux. L'utilisation principale est le contrôle du débit de gaz pour le processus de fabrication, la production de masse en fonction de l'accent mis sur la répétabilité et les types de gaz définis, le débit, la réalisation d'une grande réduction des coûts. Il est le plus approprié pour l'occasion de contrôle répétitif de débit fixe, long contrôle stable. Et il en va de même pour le contrôle de flux facile de l'Institut.
Caractéristiques du régulateur de débit japonais horiba stec e40mk3 / e50mk3
1. Avec une large gamme d'utilisations
2. Poursuivre l'avantage de coût, réaliser la réduction de coût

Japon horiba stec e40mk3

Japon HORIBA STEC E40MK3/E50MK3 Spécifications du Contrôleur de débit

Modèle	Sec - (Contrôleur de Débit massique)	E40 / E40MK3	E50/E50MK3
	SEF - (débitmètre massique)	E40	E50
Type de gaz applicable * 1		Gaz non corrosifs (modèle MK3 pour n2, O2, air, H2、Ar、He)
Matériaux du Département de contact de gaz		Sus316l. Caoutchouc fluoré. PTFE、 Acier inoxydable magnétique
Modèle de valve		éteint lorsqu'il n'est pas sous tension
Échelle de débit standard (N2 correspondant F.S.)		10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
Gamme de contrôle de flux (adapté à la série sec)		2 à 100 % F.S.
Gamme de mesure de débit (adapté à la série SEF)		0 à 100 % F.S.
Vitesse de réponse		Dans 1 seconde (T98)
Précision du débit		±1 % F.S.
Rectitude		±0,5 % F.S.
Réversibilité		±0,2 % F.S.
Valeur de la pression différentielle de travail (adapté à la série sec)		10 SCCM ~ 5 SLM: 50 ~ 300 kPa (d) 10〜30 SLM: 100 ~ 300kPa (d)
Utiliser la pression (adapté à la série SEF)		Moins de 300 kPa (g)
Résistance à la pression		Moins de 1 MPa (g)
Taux de fuite externe		Inférieur à 1 × 10 - 8 pa ・m3 / S (he)
Température ambiante d'utilisation		5 ~ 50 ℃ (garantie de précision: 15 ~ 35 ℃)
Signal de réglage du trafic		0,1 ~ 5vdc (impédance d'entrée supérieure à 1mΩ) / 2 ~ 100% F.S.
Signal de sortie de flux		0 ~ 5vdc (résistance de charge minimale 2kΩ)
Drive puissance		+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	+ 15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
Connecteur standard * 2		Type 1 / 4swl

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