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Courriel
821614517@qq.com
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Téléphone
19124373227
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Adresse
Bâtiment B de l'espace Hi, No.3, route riche, rue Yongping, secteur de Baiyun, ville de Guangzhou 301
Guangzhou Noda Electronics Co., Ltd
821614517@qq.com
19124373227
Bâtiment B de l'espace Hi, No.3, route riche, rue Yongping, secteur de Baiyun, ville de Guangzhou 301
Paramètres de l'équipement
Mode de détection |
Aspiration de pompe |
Mesure des gaz |
Trifluorure d'azote |
Gamme de mesure |
0 à 100 ppm;0 à 20 ppm;(plage de mesure non répertoriée en option) |
Principe de détection |
Électrochimie |
Unités de détection |
%VOL、%LEL、mg/m3、ppm、 Plusieurs unités au choix; |
Résolution |
0,01 ppm;(dépend de l'échelle) |
Précision |
3 % F.S. |
Répétabilité |
1 % F.S. |
Mode d'affichage |
Écran matriciel de 2,5 pouces |
enregistrement de données |
Jusqu'à 80000 barres, peut être réglé 1 fois / 1S, 1 fois / 10S, 1 fois / 60s |
Temps de réponse |
30S |
Diagnostic automatique |
Puissance de la batterie / affichage / capteur / défaillance matérielle, etc. |
Type de protection contre les explosions |
Conception intrinsèquement sûre |
Poids lourd |
0,26 kg |
Conditions de travail |
0 ~ 90% RH pression normale 0.1mpa température: - 20 - 50 degrés |
taille |
Longueur 135mm × hauteur 65mm × largeur 35mm |
Récupération de données |
Pratique et rapide, restauration des paramètres d'usine en un clic |
norme |
GB 12358-2006, GB 3836.1-2010, GB 3836.4-2010 |
Accessoires d'usine |
Instructions, chargeur, boîte en aluminium d'emballage, rapport d'essai, carte de garantie, certificat de conformité |
Gaz de trifluorure d'azote
NF3 est un excellent gaz de gravure au plasma dans l'industrie de la microélectronique, la gravure du silicium et du Nitrure de silicium, l'utilisation de NF3 et de CF4 + O2 pour les gaz mixtes a une vitesse de gravure et une sélectivité plus élevées, et il n'est pas polluant pour la surface. L'hydrogène réagit avec NF3, accompagné d'un dégagement de chaleur important en un instant, c'est le principe de l'application massive de NF3 dans les lasers chimiques à haute énergie. À haute température, la réaction du NF3 avec les composés organiques s'accompagne souvent d'une explosivité et doit être effectuée avec la plus grande prudence. 2. Utilisé comme carburant à haute énergie