Système laser PFIB Helios 5

Outil laser FIB SEM pour coupe transversale à échelle millimétrique à haut débit et caractérisation 3D avec résolution nanométrique

Le Thermo ScientifiqueSystème laser PFIB Helios 5combine la meilleure colonne monochromée de microscopie à électrons à balayage (SEM) Elstar avec un faisceau d'ions concentré sur le plasma (PFIB) et un laser de femtoseconde pour produire un outil d'imagerie et d'analyse à haute résolution avecsur placecapacité d'ablation, offrant des taux d'élimination de matériaux sans précédent pour la caractérisation rapide à l'échelle millimétrique à la résolution nanométrique.

Caractéristiques principales

Élimination rapide du matériel

Sections transversales à échelle millimétrique avec un enlèvement de matériau jusqu'à 15 000 fois plus rapide qu'un faisceau d'ions concentré sur le gallium typique.

Placement de coupe précis et répétable

Le même point coïncident pour les 3 faisceaux (SEM/PFIB/laser) permet un positionnement de coupe précis et répétable et une caractérisation 3D.

Traitement à haut débit de matériaux difficiles

Comprend des échantillons non conducteurs ou sensibles au faisceau ionique.

Partage toutes les fonctionnalités de la plateforme Helios 5 PFIB

Préparation d'échantillons TEM et APT sans gallium de haute qualité et capacités d'imagerie haute résolution.

Analyse statistiquement pertinente des données souterraines et 3D

Acquérir des données pour des volumes beaucoup plus grands en moins de temps.

Caractérisation rapide des caractéristiques souterraines profondes

Extraction de lamelles TEM souterraines ou de morceaux pour analyse 3D.

Caractérisation rapide et facile d'échantillons sensibles à l'air

Il n'est pas nécessaire de transférer des échantillons entre différents instruments pour l'imagerie et la coupe transversale.