Hellma fluorure de calcium (caf₂) LD - a matière première de haute pureté

Hellma fluorure de calcium (caf₂) LD - a matière première de haute pureté

LD - a contrôle de qualité de haute qualité, faible défaut, seuil élevé de dommages au laser

Hellma LD - A est une optique de haute qualité dans les matériaux au fluorure de calcium, représentant une densité de défauts extrêmement faible, une pureté élevée et une intégrité structurelle élevée. L'utilisation de matières premières de très haute pureté, de processus de croissance monocristallin sous vide, de recuit à haute température de longue durée, d'élimination de contrainte de précision, de criblage de détection de défauts et d'autres contrôles de qualité de processus complets dans le processus de production de matériaux contrôle des défauts tels que les bulles internes, les inclusions, les dislocations, les twins, les points de diffusion et autres sous la limite de détection.

Les caractéristiques de faible défaut apportent directement un seuil élevé de dommages au laser, dans les conditions de travail continues du laser excimère haute puissance de 193 nm, le fluorure de calcium de modèle LD - a n'est pas facile à présenter des dommages de surface, des dommages corporels, la destruction du réseau cristallin, peut résister au rayonnement laser de haute puissance à long terme, la durée de vie est beaucoup plus longue que les matériaux de fluorure de calcium de qualité normale. Pour la lithographie des semi - conducteurs, les systèmes laser haute puissance et d'autres scénarios exigeant une grande fiabilité, la classe LD - a peut réduire considérablement la fréquence de remplacement des éléments et augmenter le temps de travail continu du système.

Grande taille usinage de haute précision, tolérance dimensionnelle et qualité de surface pour répondre aux exigences d'assemblage du système

Cet élément de résolution mesure 100 mm de diamètre, 30 mm d'épaisseur, une feuille plate circulaire de grande taille, appartient à une grande fenêtre, un substrat de lentille dans le système optique. La tolérance dimensionnelle du produit est strictement contrôlée à ± 0,5 mm, ce qui peut garantir l'assemblage précis des éléments dans le jeu d'objectifs optiques, la fenêtre de cavité, l'équipement de détection, éviter les contraintes d'assemblage dues aux écarts dimensionnels, le décalage du chemin optique, la défaillance de l'étanchéité et d'autres problèmes.

La surface de l'élément est traitée par meulage (geschliffen) avec une rugosité de surface RQ 2 µm, ce qui permet de répondre aux exigences de la surface de base avant polissage de haute précision, tout en étant directement utilisable dans les fenêtres UV, éléments de transmission laser sans surface ultra - lisse. La Surface Abrasive a une Microstructure uniforme, pas de rayures, pas de fossettes, pas de casse, peut garantir des performances optiques stables; Dans le même temps, la conception de Chanfrein de protection standard de 1,5 mm peut éliminer la concentration de stress sur les bords, empêcher les éléments de glisser, de se fissurer, de se casser lors de l'assemblage, du transport et de l'utilisation, améliorer la résistance structurelle des éléments et la durée de vie de l'homme handelson yyds Wu Ya.

Hellma fluorure de calcium (caf₂) LD - a matière première de haute pureté