Hellma Allemagne cristal optique synthétique de fluorure de calcium (caf₂)

Hellma Allemagne cristal optique synthétique de fluorure de calcium (caf₂)

I. propriétés physiques et chimiques fondamentales

• Formule chimique: caf₂ (fluorure de calcium)

• Structure cristalline: Système cristallin cubique, (111) surface de clivage

• Densité：3.18 g/cm³

• Point de fusion：1418 °C

• Conductivité thermique：9.71 W/(m·K) @20 °C

• Coefficient de dilatation thermique (CTE)：18.9×10 ⁻⁶ / K @20 °C

• Solubilité (eau, 20°C): 0016 G / L (extrêmement soluble)

II. Propriétés optiques (CORE)

• Bande de transmissionPour:130 nm (ultraviolet profond) ~ 9 μm (infrarouge moyen), couvre toute la bande VUV / duv / visible / infrarouge.

• Perméabilité interne (10 mm d'épaisseur)Pour:

• UV（193/248 nm）：> 99,0%

• VIS : > 92%

• IR (3 ~ 5 μm): > 90%

• Indice de réfraction ( nd@587.6 nm）Pour:1.43384(faible indice de réfraction, faible distorsion du chemin optique)

• Nombre d'Abbé (νd)Pour:95.23(dispersion très faible, achromatique excellente)

• Uniformité de l'indice de réfraction (@ 633 nm)Pour:≤ 0,5 ppm / 3 ~ 20 ppm (standard)

• Biréfringence sous contrainte (@ 633 nm)Pour:≤0,5 nm/cm/1 ~ 50 nm/cm (standard)

• Indice de réfraction non linéaire (n₂ @ 1064 nm): 1,9 × 10⁻¹⁶cm² / W (extrêmement faible, stabilisation laser haute puissance)

• Indice de réfraction coefficient de température (DN / DT)Pour:

• @ 193 nm : -3,2 x 10 ⁻⁶ /K

• @ 248 nm : -6,9 × 10 ⁻⁶ /K

Iii. Durabilité laser (indicateur clé du niveau de lithographie)

• Longueur d'onde applicable: 157 nm, 193 nm, 248 nm Laser excimère

• Seuil de dommage laser (ldt)Pour:> 10 J / cm² @ 193 nm (impulsions de 10 NS)

• Stabilité à long terme: dans un environnement de lithographie UV profondeFaible défaut, faible vieillissementS'adapte au processus de 7nm et au - dessous

Iv. Taille et spécifications personnalisées

• taille maximalePour:

• Monocristallin: diamètre ≤250 mm, épaisseur ≤ 150 mm

• Polycristallin: diamètre ≤440 mm, épaisseur ≤ 150 mm

• Orientation cristalline: < 111 > (par défaut), < 100 >, orientation aléatoire

• Qualité de surface: meulage, polissage (λ / 10, λ / 20), polissage ultra précis

• Tolérances: diamètre / longueur ± 0,1 mm, épaisseur ± 0,05 mm (peut être personnalisé pour plus de précision)

V. grade matériel

• UV 级 （193–400 nm）: uniformité d'indice ≤ 1 ppm, biréfringence ≤ 1 nm / CM, pourObjectif lithographique 193 nm- Oui.

• Classe duv (157 - 193 nm): très haute homogénéité (≤ 0,5 ppm), très faible biréfringence (≤ 0,5 nm / cm), adaptationLithographie à 157 nm- Oui.

• Classe vis (400 à 780 nm): uniformité standard (3 - 5 ppm) pour l'imagerie en lumière visible, la microscopie.

• IR 级 (0,78 à 9 μm): optimisation de la transmission infrarouge, pourFenêtre infrarouge, imagerie thermique, spectromètre- Oui.

Vi. Avantages fondamentaux

1. Transmission Ultra Large：130 nm–9 μm， Une feuille couvre les besoins multibandes.

2. Très faible dispersion chromatique: nombre d'Abbe 95,23, forte capacité achromatique, netteté d'image élevée.

3. Haute résistance au laser: adapté au laser excimère 193 / 248 nm, stable et sans dommage à long terme.

4. Haute uniformité: uniformité de l'indice de réfraction jusqu'à 0,5 ppm, excellente cohérence du faisceau.

5. Préparation de gros calibre: monocristallin 250 mm, polycristallin 440 mm, répond aux besoins des grands systèmes optiques.

Vii. Applications typiques

• Semi - conducteurs:Objectifs de lithographie 193 nm / 248 nm, systèmes d'éclairage- Oui.

• Laser: fenêtre laser haute puissance, lame séparatrice, lentille (157 - 1064 nm).

• Infrarouge: fenêtre de caméra thermique infrarouge, élément de spectromètre, lentille de télescope astronomique.

• Recherche scientifique: ultraviolet sous vide (VUV) optique, haute énergie rayonnement environnement fenêtre.

Hellma Allemagne cristal optique synthétique de fluorure de calcium (caf₂)