Régulateur de débit de gaz à haute température et débitmètre pour équipement de dépôt

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Vue d'ensemble

Le régulateur de débit de gaz de séparation à haute température et le débitmètre pour l'équipement de dépôt, utilisant une vanne de contrôle proportionnel personnalisée à haute vitesse, peuvent mesurer rapidement et précisément le débit massique de gaz à haute température, peuvent afficher la valeur du débit en unités de masse ou en unités de volume, avec une précision de 0,5% fs.

Détails du produit

Un,Présentation du produitPour:Régulateur de débit de gaz à haute température et débitmètre pour équipement de dépôt

uMesure rapide et précise du débit volumique de gaz à haute température/Flux de qualité

uUtilisation de vannes de contrôle proportionnel à grande vitesse personnalisées pour le débit volumique des médias/Contrôle précis du Débit massique

uÉcran tactile surdimensionné, facile à utiliser en même temps Open Analog input output etRS-485Communication numérique

uIntérieur sans composants mobiles et éléments thermiques, testé contre les vibrations, insensible à la direction d'installation

uL'utilisation de la technologie de différence de laminage compensée interne permet au fluide de maintenir le mouvement laminaire dans une large plage de débit

uOffertAssistance à l'utilisateur, y compris des conseils techniques, un service d'étalonnage rapide de l'équipement et une garantie conditionnelle à vie.

II. Application du produit:

- - il a été largement utilisé dans le domaine des procédés de dépôt, tels que les procédés céramiques, les semi - conducteurs, les fibres optiques et d'autres industries utilisant des équipements de dépôt de gaz à haute température.

- la mesure multivariée et le rapport réglable 50: 1 permettent de remplacer l'efficacité de plusieurs appareils par un seul régulateur de Débit massique de gaz à haute température et un seul débitmètre.

- -Précision0,5 % FS, répétabilité0,5%Et ne pas arriver200Le temps de réponse de contrôle de millisecondes assure que le gaz de processus à haute température peut fonctionner en douceur.

Trois,Paramètres techniquesPour:Régulateur de débit de gaz à haute température et débitmètre pour équipement de dépôt

Technologie Indicateurs	Contrôleur de débit de qualité		Débitmètre massique
	Gamme de mesure	2SCCM ~ 300SLM
	Précision (Conditions standard après mise à zéro) et	±0,5 % F·S(pleine échelle)
	Précision de répétition	±0,5 % F·S
	Ratio de contrôle du flux /Gamme de mesure	2% ~ 100% F·Le S/50Pour:1	1% ~ 100% F·Le S/100Pour:1
	température de fonctionnement	Section de surintensité: (90 à 150℃), Section de contrôle:0 à 70℃
	Taux de fuite	<2×10-9 Pa m³/ S
Mécanique Composants	Pression maximale de travail	3 MPa / 10 MPa
	Matériaux d'étanchéité	Caoutchouc fluoré, perfluoroéthers, joints métalliques
	Niveau de protection	IP40
	Matériel de base	acier inoxydable
	Raccords de voies de gaz	φ6,φ8,φ10,φ12Le porte - cartes,VCREtc.
Électrique Performance	Monochromeécran LCDÉcran d'affichage	Affichage simultané du trafic en temps réel, du trafic défini
	Communication numérique	Facultatif:RS232/485,ModbusL'accord,ProfibusL'accord,DeviceNetprotocole
	Signal analogique d'entrée - sortie	0 ~ 5VDC / 4 ~ 20mA
	Interface de signal électrique	B9TrouRJ11, 5,5 × 2,1Alimentation rapide
	Tension d'alimentation	±15 VDC,24 VDC

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