Contrôleur de Débit massique de gaz d'hydrogène mfc330 série de débitmètres / contrôleurs massiques de gaz dont la structure contient un capteur de débit cylindrique capillaire, un système de dérivation par dérivation, une vanne proportionnelle de haute précision et un système de contrôle.
La série mfc330 de débitmètres / contrôleurs massiques de gaz, dont la structure contient un capteur de débit cylindrique capillaire, un système de dérivation par dérivation, une vanne proportionnelle de haute précision et un système de contrôle.
Après l'entrée du gaz mesuré, il passe d'abord par le capteur et le système de dérivation par dérivation. Le débit de gaz est mesuré en temps réel par le capteur, la réponse dynamique de la vanne proportionnelle de haute précision régule rapidement le débit de gaz à la valeur de consigne. La structure en boucle fermée qui mesure et régule le débit permet au mfc330 de maintenir un contrôle stable du débit, même lorsque la température ambiante varie ou que la pression atmosphérique à l'entrée et à la sortie fluctue.
Caractéristiques du produit
Mesure / contrôle précis du Débit massique
Réponse rapide, haute répétabilité
Pas affecté par la température et la pression
Grande plage de pression différentielle de fonctionnement: 0 - 1mpa
Perte de basse pression en option
Valve proportionnelle tout en métal en option
Affichage intégré en option
Une solution économique et efficace
Paramètres principaux
Exigences média gaz propre et sec
Type de gaz 98 + gaz facultatif
Gamme 0 - 2, 10, 20, 50100300500 SCCM
0-1, 2, 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500slpm
Plage de mesure 0,5% F.S. (1: 200)
Plage de contrôle 1% - 1 00% fs. (1: 100)
Précision ± 1% F.S.
Précision de répétition ± 0,2% F.S.
Linéarité ± 0,2% F.S.
Contrôle du temps de réponse < 3 secondes
Temps de préchauffage 5 min (t95), 30 min
Valve normalement fermée