Équipement d'eau Ultrapure de circuit intégré

Dans la qualité de l'eau Ultrapure à grande échelle des circuits intégrés, les indicateurs prioritaires de la qualité de l'eau sont: résistivité, TOC、 Le silicium, les particules fines, les métaux lourds, l'oxygène dissous, les métaux alcalins, etc., ces substances se dissolvent dans l'eau, tandis que dans le processus de fabrication des puces de circuits intégrés, plus la qualité de l'eau utilisée contient de composants ioniques, plus l'impact sur le processus de fabrication du produit est important, de sorte que le rendement du produit est réduit.

Les dispositifs d'eau Ultrapure pour circuits intégrés sont couramment utilisés pour le nettoyage des matières premières semi - conductrices industrielles et des ustensiles utilisés, la fabrication de plaques de masque photolithographique et de sources de vapeur d'eau pour l'oxydation de plaquettes de silicium, etc. En outre, la fabrication de tubes à vide, etc., de circuits à film épais et mince, d'électronique à l'état solide, de circuits imprimés, etc., nécessitent également l'utilisation d'eau Ultrapure. Avec le développement continu de la science et de la technologie, l'intégration des circuits intégrés augmente et les exigences en matière de qualité de l'eau augmentent, ce qui entraîne des exigences plus strictes en matière de durabilité des processus et des produits de traitement de l'eau Ultrapure, de continuité de la production, d'automatisation et de simplicité des équipements.

Processus de processus:

Eau brute → pompe pressurisée pour eau brute → filtre Multi - média → filtre à charbon actif → adoucisseur d'eau → filtre de précision → lit filtrant en résine mâle → lit filtrant en résine femelle → lit mixte en résine femelle et mâle → filtre microporeux → point d'eau
Eau brute → pompe pressurisée pour eau brute → filtre Multi - média → filtre à charbon actif → adoucisseur d'eau → filtre de précision → osmose inverse de premier niveau → régulation du pH → réservoir intermédiaire → osmose inverse de deuxième niveau (avec charge positive sur la surface de la membrane d'osmose inverse) → réservoir d'eau purifiée → pompe à eau pure → filtre microporeux → point d'eau
Eau brute → pompe pressurisée pour eau brute → filtre Multi - média → filtre à charbon actif → adoucisseur d'eau → filtre de précision → osmoseur inverse primaire → réservoir intermédiaire → pompe intermédiaire → système EDI → filtre microporeux → point d'eau

L'aiguille d'eau pure de source d'infiltration pour l'équipement d'eau ultra - pure de circuit intégré d'aujourd'hui adopte la technologie avancée d'osmose inverse entièrement automatique à deux étages + de dessalement électrique EDI + de traitement de lit de mélange de polissage, dans la partie de prétraitement avant d'utiliser le traitement d'osmose inverse, peut éliminer efficacement toutes sortes de sels et d'impuretés dans l'eau, immédiatement après l'utilisation de la technologie de dessalement électrique EDI et de lit de mélange de polissage, peut éliminer efficacement les ions solubles de la qualité de l'eau, améliorer davantage la qualité de l'eau d'échappement, de sorte que

Caractéristiques de l'équipement:

1. Utilisation de la pompe de surpression importée, haute efficacité sonore, stable et fiable
2. Programme de contrôle électrique entièrement automatique, peut également être optionnel avec l'opération d'écran tactile, facile à utiliser.
3. Adoptez le système de prétraitement entièrement automatique pour réaliser l'opération sans pilote et réduire le coût de la maintenance manuelle.
4. Avec la membrane d'osmose inverse importée, le taux de dessalement est élevé, la durée de vie est longue et le coût de fonctionnement est bon marché.
5. Conception personnalisée en fonction de la qualité de l'eau locale, tout autour pour répondre aux besoins.
6. Contrôle de la surveillance de la qualité de l'eau en ligne, surveiller les changements de qualité de l'eau en temps réel et garantir la sécurité de la qualité de l'eau.
7. Économies d’eau recyclée et installations de traitement des eaux usées recyclées avec un taux élevé de production d’eau (jusqu’à 95%).
8. Pas besoin de réserves d'acide et de base et d'installations de transport de dilution d'acide et de base, utilisation sûre et fiable pour éviter l'exposition des travailleurs à l'acide et à la base.
9. Simplifiez le processus d'installation et réduisez l'empreinte du site.

Domaines d'application:

1, matériaux semi - conducteurs, dispositifs, circuits imprimés et produits finis de circuits intégrés, eau ultra - pure pour les produits semi - finis.
2, la production de transistor est principalement utilisée pour nettoyer les plaquettes de silicium, et une petite quantité est utilisée pour la formulation de liquide pharmaceutique.
3, matériaux semi - conducteurs, production de matériaux d'éléments cristallins, traitement, nettoyage.
4, feuille de silicium de nettoyage à l'eau de haute pureté dans la production de circuits intégrés.
5, production de tube électronique, distribution de carbonate d'application cathodique de tube électronique.
6. Produits optoélectroniques, autres produits fins de haute technologie.
7, tube d'image et tube cathodique pour la production, les ingrédients pour l'eau pure.
8, condensateur électrolytique produit la feuille d'aluminium et le nettoyage des pièces de travail.