Contrôleur de Débit massique k1000

NégociableMise à jour sur06/06

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Vue d'ensemble

Le k1000 est un contrôleur de Débit massique thermique de haute précision et de haute stabilité. Il a une plage de mesure de 10sccm à 1000sccm, k1000a pour la petite échelle de débit MFC (de 10sccm ~ 50slm), avec la fonction multi - gaz Multi - échelle, 8 tailles Bin peuvent correspondre à tous les débits de 10sccm ~ 50slm, dans la correction des données de 4 gaz avant, par le logiciel peut faire le type de gaz, le réglage du changement de débit, facile à utiliser; Le k1000c est une grande plage de débit (200slm ~ 1000slm), une vitesse de réponse rapide (≤ 3S), un mode de communication analogique (0 - 5vdc) / RS485, devicenet, qui peut répondre aux besoins des clients en matière de MFC de haute précision à grand trafic.

Détails du produit

Avantages

• La partie du capteur est en Hastelloy, avec une forte résistance à la corrosion.
• haute précision du produit, jusqu'à 100% ~ 25%: ± 1,0% de S.P., 25% ~ 2%: ± 0,25% F.S. temps de réponse rapide (≤ 1S)
• Le produit a la fonction multi - gaz Multi - échelle, peut être réglé sur le changement de type de gaz, le débit
• prend en charge le grand trafic (jusqu'à 1000l maximum) mode numérique mode communication
• Les produits sont certifiés ce, ROHS

Paramètres techniques

Modèle	K1000A				K1000B	K1000C
Spécifications de débit (N2 convertit le débit)	Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM
	Bin 2: 30 SCCM à 100 SCCM	Bin 6: 3SLM ~10SLM			60SLM 、100SLM、	200SLM、300SLM、
	Bin 3: 100SCCM~300SCCM	Bin 7: 10SLM~ 30SLM	Bin 8: 30 SLM ~50SLM		150SLM、200SLM	400SLM、500SLM	600slm, 1000slm (n2, H2, air, etc.)
	Bin 4: 300 SCCM ~1SLM
	Bin 5: 1SLM ~3SLM
Type de valve	N / o: type normalement ouvert, N / C: type normalement fermé					N / C: type normalement fermé
Gamme de contrôle de flux	2%～100%F.S.
Précision	100% à 25%: ± 1,0% de S.P., 25% ~ 2%: ± 0,25% F.S. (plage de garantie de précision 15 ~ 35 ℃)				± 1% F.S. (plage garantie de précision 15 ~ 35 ℃)	± 2% F.S. (plage garantie de précision 15 ~ 35 ℃)
Température de l'environnement de travail	5 ~ 50 ℃				5 ~ 45 ℃
Temps de réponse	≦1sec				≦3sec
Linéaire	± 0,5% F.S.
Précision de répétition	± 0,2% F.S.
Gamme de pression différentielle de fonctionnement		N/O100 à 300kpa (3slm à 10slm)
	50 à 300 kPa	N/O150 à 300kpa (11slm à 30slm)		200～300KPa
	(Ar: 100 à 300 kPa)	N/C100 à 300kpa (3slm à 30slm)		（Ar: 250～450KPa）	100 à 300 kPa	150 à 300 kPa	300 à 450 kPa (H2: 150 à 300 kPa)
		（Ar 200～3500KPa）
Coefficient de température	Zero: ± 0,1% F.S. / ℃ span: ± 0,1% F.S. / ℃
Pression maximale de travail	400KPa（Ar:500KPa）				700KPa
Résistant à la pression	1MPa
Taux de fuite	Joint métallique: 1×10^{- 11}Pa・m³/ sec He (1 × 10^{- 10}Atm・cc / sec he)					Joint de bague en caoutchouc: 1 × 10^-7Pa・m³/ sec He (1 × 10^{- 6}Atm・cc / sec he)
	Joint de bague en caoutchouc: 1 × 10^{- 7}Pa・m³/ sec He (1 × 10^{- 6}Atm・cc / sec he)
Matériaux d'étanchéité	Joint métallique; Caoutchouc fluoré; Néoprène					Caoutchouc fluoré; Néoprène
Formes de communication	Analogique: 0 ~ 5V DC numérique: RS485, devicenet, EtherCAT						Analogique: 0 ~ 5V DC numérique: RS485, devicenet,
Puissance	Analogique / numérique: + 15vdc 50mA, - 15vdc 200mA; DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W)
Forme de joint standard	Connecteur mâle VCR 1 / 4, double connecteur mâle 1 / 4, 1.5 "W - seal, 1.125" W - seal, 1.125 "C - seal				Connecteur mâle VCR 3 / 8, double manchon de carte connecteur mâle 3 / 8	VCR 1 / 2 connecteur mâle, double douille de carte 1 / 2 connecteur mâle
Poids	1.0kg				3.0kg	3.7kg

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