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Shanghai shujun Instrument Equipment Co., Ltd
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Lauda Noah pou thermostat de process thermoélectrique: - contrôle de température de 20 à 90c

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Vue d'ensemble

Introduction: le thermostat de processus thermoélectrique pou Lauda - Noah est utilisé dans l'industrie des semi - conducteurs pour fournir un contrôle de température de - 20 à 90c pour répondre aux processus de processus exigeants rapidement et à température contrôlée thermoélectrique en ligne (pou) Système de contrôle de température pour le processus de gravure plasma. ...

Détails du produit

Les thermostats de processus thermoélectriques Lauda - Noah pou sont utilisés dans l'industrie des semi - conducteurs et offrent un contrôle de la température de - 20 à 90c.

Répond aux processus de processus exigeants contrôle rapide et de la température

Le système de contrôle de température thermoélectrique en ligne (pou) offre un contrôle stable de la température pour le processus de gravure au plasma. Le système contrôle dynamiquement la température du mandrin électrostatique (ESC) et peut être utilisé dans n'importe quel processus de gravure. La base de la conception du système de contrôle de température thermoélectrique Lauda Noah pou repose sur le principe de variation de température des éléments paltier. Ces originaux permettent un contrôle rapide et précis de la température, répondant aux exigences actuelles de la production de dispositifs de plus en plus petits.

Fonctions importantes

Faible consommation d'énergie système sans compresseur et réfrigérant

Petit encombrement dans le domaine industriel, aucune exigence d'espace au sol si placé sous le plancher

Très faible remplissage de liquide thermiquement conducteur

Accessoires standard

Réservoir de remplissage avec pompe manuelle

Accessoires optionnels

Module de communication pouvant être commandé à distance (Protocole de communication RS - 485)

Le système de contrôle de température pou (pou) de Lauda Noah peut économiser jusqu'à 90% d'énergie par rapport à un système de compresseur. L'option d'installation optionnelle sous le plancher permet un faible encombrement du système et économise de l'espace dans la salle blanche.