-
Courriel
sem@primesci.com
-
Téléphone
18621025556
-
Adresse
777 Long Wu Road, bâtiment 8, suite 201
Shanghai shujun Instrument Equipment Co., Ltd
sem@primesci.com
18621025556
777 Long Wu Road, bâtiment 8, suite 201
Les thermostats de processus thermoélectriques Lauda - Noah pou sont utilisés dans l'industrie des semi - conducteurs et offrent un contrôle de la température de - 20 à 90c.
Répond aux processus de processus exigeants contrôle rapide et de la température
Le système de contrôle de température thermoélectrique en ligne (pou) offre un contrôle stable de la température pour le processus de gravure au plasma. Le système contrôle dynamiquement la température du mandrin électrostatique (ESC) et peut être utilisé dans n'importe quel processus de gravure. La base de la conception du système de contrôle de température thermoélectrique Lauda Noah pou repose sur le principe de variation de température des éléments paltier. Ces originaux permettent un contrôle rapide et précis de la température, répondant aux exigences actuelles de la production de dispositifs de plus en plus petits.
Fonctions importantes
Faible consommation d'énergie système sans compresseur et réfrigérant
Petit encombrement dans le domaine industriel, aucune exigence d'espace au sol si placé sous le plancher
Très faible remplissage de liquide thermiquement conducteur
Accessoires standard
Réservoir de remplissage avec pompe manuelle
Accessoires optionnels
Module de communication pouvant être commandé à distance (Protocole de communication RS - 485)
Le système de contrôle de température pou (pou) de Lauda Noah peut économiser jusqu'à 90% d'énergie par rapport à un système de compresseur. L'option d'installation optionnelle sous le plancher permet un faible encombrement du système et économise de l'espace dans la salle blanche.