Grande course, haute précision, compact linéaire piézoélectrique céramique nanotable

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Cette série de tables de nanodéplacement utilise des céramiques empilées basse tension multicouches hautement fiables en tant qu'éléments d'entraînement, qui utilisent un système de guidage flexible à l'état intégré optimisé par éléments finis pour assurer un bon mouvement parallèle. Grâce au mécanisme flexible sans frottement, la table de déplacement piézoélectrique ne nécessite aucun entretien, aucune usure et offre une réponse rapide et des performances rapides et stables, ce qui la rend adaptée aux processus dynamiques tels que la compensation d'erreur à haute fréquence, le suivi, l'étape rapide ou le balayage continu.

La version en boucle fermée dispose d'un capteur de position à lame contrainte haute résolution qui permet des mouvements de haute précision et reproductibles, ainsi que de compenser le fluage de la céramique piézoélectrique. Le capteur est conçu avec un pont en boucle fermée complète. Il peut fonctionner en boucle ouverte ou en boucle fermée. La fixation de la plate - forme piézoélectrique est réalisée par des trous taraudés sur la face mobile et la plaque de base. Pour monter sur une plate - forme optique ou un autre composant avec une grille standard, utilisez une plaque de transfert pour transférer. Lors du serrage, il convient d'éviter des charges de moment de flexion excessives et des forces latérales agissant entre la face mobile et le boîtier qui pourraient endommager la table de déplacement.

Remarque: tous les paramètres de spécification sont basés sur la mesure de la température ambiante (22 ° C ± 3 ° c), pour plus d'informations, veuillez nous contacter. Le « - » est indiqué comme non applicable dans le tableau.

1. Le suffixe "- S" est une boucle fermée avec capteur de position intégré. Le suffixe à boucle ouverte est sans "- S, aucune erreur linéaire, données de répétabilité.

2. La tension d'entraînement maximale est de - 20v ~ + 150v, pour une utilisation à long terme fiable et élevée, la tension d'entraînement recommandée est de 0. + 120V, veuillez consulter pour un voyage plus important. Départ usine est le voyage nominal.

3. La résolution est le bruit de localisation. Parce que le système de nanopositionnement en céramique piézoélectrique est sans friction, la résolution du système est limitée uniquement par le bruit de l'amplificateur et la technologie de mesure. Les valeurs RMS (1σ) sont généralement utilisées pour les mesures et les désignations.

4. Se réfère à la valeur minimale du pas de déplacement de la plate - forme piézoélectrique mesurée par interféromètre, qui est principalement déterminée par la résolution DAC du Contrôleur piézoélectrique. Dans le meilleur des cas, la valeur de pas de déplacement correspondante est de 16 bits dans la table de paramètres.

5. Charge axiale, charge plus élevée s'il vous plaît consulter, Notez que le dépassement de la charge nominale causera des dommages au mécanisme flexible.

6. Veuillez consulter pour une longueur de câble plus longue.

7. Le poids de la table ne comprend pas le poids des câbles et des connecteurs.

8. Max. Dans la tolérance indique le maximum; Typ. Représente la valeur typique standard des données et la valeur réelle des données mesurées est donnée dans le rapport de détection.