Mesure de largeur de ligne

Comef est un logiciel de traitement d'image avec des fonctionnalités spéciales, spécialement conçu pour mesurer la largeur et la distance des lignes avec une grande précision. Grâce à un algorithme de niveaux de gris, il peut mesurer la largeur et l'espacement des fils ou des structures sur une plaquette de silicium avec une précision de niveau sous - pixel.

Il applique le principe de réversibilité de l'imagerie optique. On peut donc également imaginer placer la puce CCD dans le plan objet (Plan échantillon). Un objectif microscopique qui image l'échantillon de test au niveau de la puce à un grossissement de 10x imagera également la puce au niveau de l'échantillon de test à un grossissement de 1 / 10 en principe.

Qu'est - ce que le traitement des sous - pixels? Subpixeling means, detection of edge position with higher reproductibility than ΔXm. Sous - pixel signifie détecter la position des bords avec une reproductibilité supérieure à Δxm. How does that work? Comment ça marche? A condition is that the recognition of the edge position does not take place manually any longer via setting measuring points on the PC monitor. La condition est que la reconnaissance de la position des bords ne se fasse plus par réglage manuel des points de mesure sur l'écran de l'ordinateur. The edge recognition is made on the basis of grey tone distributions by the regarded screen window. Thus this measuring procedure no more is suitable for all kinds by objects. La reconnaissance des bords est effectuée à partir de la distribution des nuances de gris de la fenêtre d'écran observée. Cette méthode de mesure n'est donc plus applicable à tous types d'objets. It works however outstanding perfect for all linear expanded objects, thus e.g. for circuit paths on hoppers or structures on wafers and masks in semiconductor technology. Cependant, il est excellent et applicable à tous les objets à étalement linéaire, tels que les chemins de circuit en technologie des semi - conducteurs, les structures sur trémies, ainsi que les structures sur plaquettes et masques.

Comme la taille originale des pixels sur la puce est de 6 microns, chaque pixel a une taille de 0,6 micron au niveau de l'échantillon de test.