MEMS et nanotechnologies

MEMS et nanotechnologies

Les systèmes microélectromécaniques (MEMS) sont aujourd'hui utilisés dans de nombreux domaines d'application, notamment les capteurs de pression et d'accélération, les dispositifs d'affichage à lentilles microcristallines et les pompes à fluide miniatures. Les dispositifs MEMS tirent pleinement parti des techniques de fabrication utilisées dans l'industrie des circuits intégrés pour créer des éléments mécaniques tels que des engrenages, des diaphragmes et des poutres de liaison. La mesure précise de tous ces composants est essentielle pour répondre aux exigences de production en série d'une installation MEMS de haute qualité à faible coût.

Métrologie

Rugosité
En mesurant avec précision la rugosité à l'intérieur d'un dispositif MEMS, il est possible de contrôler les interactions des surfaces - que ces interactions soient entre solides dans un système à engrenages miniatures ou entre solides et liquides dans une pompe à fluide miniaturisée.

Hauteur des marches
La surveillance de la hauteur de marche d'un dispositif MEMS est un indicateur de performance important. La hauteur des marches, combinée à l'information dimensionnelle transversale, peut fournir une approximation efficace de la qualité, qui peut influencer la fréquence d'oscillation de base d'un seul élément du dispositif.

Dimensions latérales
Les dimensions transversales sont particulièrement importantes lors de la caractérisation des micro - engrenages et des systèmes fluides. Des mesures précises du volume et de la surface, ainsi que des dimensions importantes telles que la largeur de la poutre, aident à contrôler * Les performances de l'unité finale.