Équipement de mesure de topographie 3D série MTS

Équipement de mesure de topographie 3D série MTS: structure du capteur confocal spectral

Le capteur de déplacement confocal Spectral est un dispositif qui établit une correspondance entre la distance et la longueur d'onde par la théorie de la dispersion optique, en utilisant un spectromètre pour décoder l'information spectrale et obtenir ainsi une information de position.

Dans un système de capteurs de déplacement confocaux spectraux,

La plage de mesure du système est influencée par 4 facteurs:

1. Gamme de Distribution spectrale de la source lumineuse

2. Différence chromatique axiale de la lentille dispersive dans la gamme de bande de travail

3. Bande de travail du spectromètre

4. Bande de travail du coupleur de fibre optique

Avantages confocaux spectraux

Capteur confocal Spectral multifonction

Nos capteurs confocaux sous - marins optiques focalisent la lumière blanche le long de l'Axe optique à différentes distances plutôt qu'en un seul point grâce à des lentilles optiques de haute qualité, toutes les bandes de lumière visible étant focalisées. Ce capteur optique polyvalent ouvre une nouvelle dimension à la technologie de mesure de la vie.

· tout matériau peut être testé - matériau non transparent / transparent, diffus / réfléchissant, absorbant, coloré, rugueux / poli

· le test coaxial évite les effets de l'ombre

· l'acceptation du Chanfrein et l'ouverture numérique permettent de mesurer des angles allant jusqu'à 45° sur la surface réfléchissante et > 80° sur la surface diffusante

· résolution et précision de l'axe Z - aucun balayage de l'axe Z n'est nécessaire pour obtenir les résultats du test, chaque point de test peut transmettre une valeur de test

· le capteur Multi - point Line Array à vitesse de test ultra - rapide permet des tests parallèles multipoints

· petite taille de SPOT constante pour une résolution latérale élevée

· la sonde optique est passive, sans déplacer aucune pièce ou intégrer de l'électricité

Route - garantit une grande stabilité thermique, une fiabilité et une répétabilité à long terme

Comparaison des modes de mesure

Microscope numérique

- la topographie de surface doit faire une superposition de profondeur de champ, lente - petit champ de vision

- la précision du balayage dépend du moteur de l'axe Z et de la profondeur de champ de l'objectif

Microscope à confocation laser

- la topographie de la surface nécessite un balayage couche par couche, lent - petit champ de vision

- mesure des données humaines

Confocation spectrale de type réflexion triangulaire

- Résolution inférieure de l'axe Z

- scan prédisposé aux zones aveugles

- matériaux transparents et miroirs ne fonctionnent pas bien

Interférence de lumière blanche

- coût élevé d'utilisation et d'entretien

- ne convient pas aux échantillons plus grands et aux échantillons plus volumineux

- mauvais effet sur les échantillons avec des surfaces plus rugueuses

Avantages MTS

Mesure non destructive sans contact

Résolution de l'axe Z jusqu'à 20 nm

Accélération plus rapide sans profondeur de champ

Réflectivité de surface de l'échantillon non limitée

Fournir surface 3D toutes les informations

Zone de scan personnalisable

Accès à Q - DTS

Accès à Western Reed avocat ai

Équipement de mesure de topographie 3D série MTSParamètres techniques

① au - dessus de 2 kHz, la plage d'essai diminue avec l'augmentation de la fréquence

② mesure spéculaire verticale à 20 °C

Les données fournies proviennent de tests effectués dans des applications typiques et différeront des tests effectués dans d'autres cas spécifiques. Les erreurs typographiques ultérieures, les révisions, les mises à jour peuvent également entraîner des différences par rapport aux paramètres techniques énumérés dans le tableau. Par conséquent, la conformité des paramètres techniques, des résultats de mesure et des informations fournies par ce produit dans les tableaux n'est pas garantie.