Nouveau miroir électrique à balayage par émission de champ Schottky su7000

Nouveau miroir électrique à balayage par émission de champ Schottky su7000
- toutes sortes d'informations sur les échantillons disponibles pour réaliser des analyses à haut débit -

Le miroir électrique à balayage à émission de champ su7000 de Schottky réduit le temps d'acquisition d'informations multiples sur un échantillon par l'acquisition de signaux multiples, ce qui permet une observation et une analyse à haut débit.

Diagramme extérieur su7000

La microscopie électronique à balayage (MEB) peut obtenir une variété d'informations allant de la microstructure à la composition en détectant les signaux d'électrons secondaires excités par l'échantillon, d'électrons rétrodiffusés, de rayons X, etc., et est donc largement utilisée dans de nombreux domaines tels que la nanotechnologie, les semi - conducteurs, les dispositifs électroniques, la biologie, les matériaux et autres. Alors que le champ d'application du SEM ne cesse de s'élargir, la nécessité d'une réduction du temps d'observation, d'une acquisition rapide et efficace du signal, est encore plus grande.
Le su7000 est doté d'un détecteur entièrement repensé qui améliore considérablement la détection des signaux électroniques secondaires, des signaux électroniques rétrodiffusés et la capacité de séparation. Auparavant, nous devions ajuster la distance entre l'échantillon et la lentille (distance de travail / ci - après WD) en fonction du signal obtenu pour définir les conditions d'observation et d'analyse les plus appropriées, tandis que le su7000, grâce à un nouveau réservoir d'échantillons et à un système de détection, peut recevoir divers signaux plus efficacement sans modifier les conditions WD, réduisant ainsi le temps d'observation et d'analyse de l'échantillon et améliorant l'efficacité du test.
En outre, le su7000 est également configuré avec une interface d'affichage à 6 canaux simultanés (le modèle précédent ne pouvait afficher que 4 canaux simultanément), ce qui améliore encore le système de contrôle Sem et augmente considérablement la vitesse d'acquisition du signal, ce qui permet une observation à haut débit des échantillons.
Il est également livré en standard avec un bac à échantillons surdimensionné et une interface d'accessoires supplémentaire, qui peut être adaptée à l'observation et à l'analyse de divers échantillons.
Hitachi High - tech présentera le su7000 au salon « Microscopy & Microanalysis » du dimanche 5 août au jeudi 9 août dans le Maryland (États - Unis) et au salon « JASIS 2018 » du mercredi 5 septembre au vendredi 7 septembre au shooting Pavilion Showcase Center (Chiba, Chiba, préfecture de Chiba), avec des ventes mondiales estimées à 150 unités par an.
Avec l'objectif stratégique à moyen terme de devenir le numéro un mondial de l'industrie de la microscopie électronique d'ici 2020, la Division Hitachi High - tech Science Systems continuera à promouvoir pleinement la recherche et le développement de produits et la promotion du marché, afin de contribuer davantage à la fabrication mondiale. En tant qu'entreprise innovante avancée et avant - gardiste, l'objectif est de devenir une entreprise de classe mondiale offrant des technologies et des solutions de pointe, toujours dans la position du client et de répondre rapidement aux besoins du client et du marché.

[caractéristiques principales]
1. Dans les mêmes conditions de WD, peut réaliser simultanément l'observation d'électrons secondaires, d'électrons rétrodiffusés et l'analyse de rayons X
2. Jusqu'à 6 canaux de détection et d'affichage peuvent être réalisés simultanément
3. Les données d'image sont également disponibles au pixel maximum 10240 x 7680
4. Jusqu'à 18 interfaces d'accessoires configurables dans les appareils de même niveau *
5. Soutenir le mode de vide bas avec un minimum de 300pa (en option)
* Résolution spatiale inférieure à 1 nm / 1 KV

[spécifications principales]

Concept clé

1. Capacité d'imagerie polyvalente
   Le SU7000 excelle dans l'acquisition rapide de signaux multiples pour répondre à des besoins SEM expansifs, de l'imagerie d'un large champ de vue à la visualisation de structures sous-nanométriques et tout ce qui s'y trouve.
   L'incorporation de systèmes d'optique et de détection d'électrons nouvellement conçus permet une acquisition simultanée efficace de plusieurs électrons secondaires et de signaux d'électrons rétrodiffusés.
2. Image multicanal
   Le nombre de détecteurs montés sur le SEM est en constante augmentation, ainsi que la nécessité d'afficher efficacement toutes les informations collectées.
   Le SU7000 est capable de traiter, afficher et enregistrer jusqu'à 6 signaux simultanément pour maximiser l'acquisition d'informations.
3. Une grande variété de techniques d'observation
   La chambre d'échantillon et le système de vide sont optimisés pour:
   ・ Grande taille d'échantillon
   ・ Manipulation d'échantillons sur différents axes
   ・ Conditions de pression variables
   ・ Conditions cryogéniques
   ・ Observation in situ du chauffage et du refroidissement
4. Microanalyse
   Le canon à électrons est équipé d'un émetteur Schottky qui fournit jusqu'à 200 nA de courant de faisceau pour accueillir diverses applications de microanalyse.
   La disposition de la chambre d'échantillon et du port est conçue pour intégrer de multiples options d'analyse, y compris EDX, WDX, EBSD, cathodoluminescence et plus encore.
   Avec la combinaison de nombreux accessoires analytiques, le SU7000 unifie des techniques multidisciplinaires dans une seule plateforme.

Performance d'imagerie

Acquisition d'informations améliorée

Imagerie multi-signaux à balayage unique

Spécimen: barres d'or revêtues organiquement

Spécimen avec la permission de : M. Smart et Mme Je Département de chimie,
Collège Vassar

Acquisition d'image simultanée pour l'information microstructurelle de surface (UD), le revêtement de surface (MD) et l'information topographique globale (LD). Voltage d'accélération: 1 kV

Interface utilisateur graphique intuitive

Affichage de signal amélioré

• Modes d'affichage personnalisables.
• Configurations mono et double moniteur.
• Affichage simultané d'images jusqu'à 4 ch (simple) et 6 ch (double).
• Portée de la chambre et SEM MAP pour la navigation optique de la scène.

Disposition d'écran très flexible

Le logiciel est capable d'afficher 1, 2 ou 4 signaux, y compris la portée de la chambre ou SEM MAP sur un seul moniteur.
De plus, le panneau d'exploitation peut être personnalisé pour afficher les sous-menus n'importe où sur l'écran.

moniteur double

Le premier moniteur peut être utilisé comme écran d'image dédié tandis que le deuxième moniteur est utilisé pour le fonctionnement.
Cinq images détecteurs (UD, LD, UVD, MD et PD-BSED) et SEM MAP d'inclusions non métalliques dans un échantillon d'acier sont affichées (à gauche).
L'écran affiche le menu du panneau d'opération et la fenêtre d'image en miniature sur un écran (à droite).
La configuration à double moniteur soutient une productivité accrue avec w étendu

Observation et analyse extensibles

Grande chambre de spécimen et grande scène

La chambre d'échantillon peut accueillir un échantillon de hauteur de φ 200 mm ou 80 mm et 18 ports d'accessoires. La grande étape parcourt 135 mm (X) x 100 mm (Y) et peut accueillir jusqu'à 2 kg d'échantillon.^(*)Un grand échantillon ou un type variable de sous-étages peuvent être facilement montés sur la porte de grand étage à ouverture frontale.

(*)à 0° d'inclinaison

Navigation par caméra^(*)

À gauche: Image de l'échantillon capturé par la caméra équipée à l'intérieur de la chambre.
Droite: Image de l'appareil photo transférée à l'écran SEM MAP pour la navigation.

La fonction de navigation de la caméra corréle une image optique à la zone d'observation cible.
La caméra installée dans la chambre d'échantillon capture l'image de l'échantillon au moment de l'introduction de l'échantillon. L'image est transférée à l'écran SEM MAP pour une interface de navigation graphique.
La navigation de la caméra prend en charge un maximum de spécimens de φ 100 mm.

(*)

La fonction de navigation de la caméra est facultative

Système de détection permettant une observation dynamique

Le SU7000 prend en charge l'observation dans diverses conditions environnementales. Une variété de détecteurs^(*)tels que UVD et MD sont sélectionnables en plus du PD-BSED pour l'observation dans des conditions de faible vide.

Sélection du détecteur dans des conditions de faible vide
Spécimen: Fibre avec oxyde métallique
À gauche : image MD (électron rétrodiffusé)
Droite : UVD (image SE)
On observe respectivement la dispersion d'oxydes et l'état de couchage de fibres.

Gauche : réponse PD-BSED traditionnelle à la vitesse de balayage de 30 ms x 64 images
Droite : image SU7000 PD-BSED démontrant une réponse et une qualité d'image améliorées pour accroître la capacité d'observation in situ