Épaisseur de film microscopique série optm

Caractéristiques du produit

● sans contact, non destructif, la tête de mesure peut être librement intégrée dans le système du client

● Les débutants peuvent également analyser facilement le mode d'analyse de modélisation pour les débutants

● mesure de haute précision et haute reproductibilité de la réflectivité absolue dans la bande ultraviolette au proche infrarouge, peut analyser l'épaisseur du film multicouche, la constante optique (n: indice de réfraction, K: coefficient d'extinction)

● Un point de mise au point plus mesure complète en 1 seconde

● large gamme de systèmes optiques sous lumière différentielle sensible (ultraviolet ~ proche infrarouge)

● tête de test indépendante pour divers besoins de personnalisation inline

● spot correspondant minimum d'environ 3 μm

● NK peut être résolu contre les films ultra - minces

Projet de mesure

● analyse de réflectivité absolue

● résolution de film multicouche (50 couches)

● constante optique (n: indice de réfraction, K: coefficient d'extinction)

Les échantillons de substrat transparent tels que le film ou le verre, affectés par la réflexion interne du substrat, ne peuvent pas être mesurés correctement. La série optm utilise des objectifs qui éliminent physiquement les reflets internes et permettent des mesures de haute précision même sur des substrats transparents. De plus, les films ci - dessus sont mesurés individuellement sur des échantillons tels que des films ou du SIC présentant une hétérostropie optique, qui peuvent également ne pas être affectés par eux.

(numéro zhuanli n ° 5172203)

Gamme d'applications

● semi - conducteurs, semi - conducteurs Composites: semi - conducteurs de silicium, semi - conducteurs de carbure de silicium, semi - conducteurs d'arséniure de gallium, colle photolithographique, matériaux à permittivité diélectrique

● FPD: LCD, TFT, OLED (El organique)

● stockage de données: DVD, film de tête magnétique, matériau magnétique

● Matériau optique: filtre, film antireflet

● affichage plat: affichage à cristaux liquides, transistor à couche mince, OLED

● film: Film ar, film HC, film PET, etc.

● autres: matériaux de construction, colle, DLC, etc.

Modèle de spécification

(type de plateforme XY automatique)

Optm en option

Modèle de plateforme XY automatique

Type de cadre fixe

Type de tête intégrée

Gamme de longueur d'onde et d'épaisseur de film

Tableau de sélection

Objectif

Cas de mesure

Industrie des semi - conducteurs – cas de détermination de l’épaisseur des films SiO2, sin

Dans les procédés semi - conducteurs, le SIO 2 est utilisé comme film isolant, tandis que le Sin est utilisé comme film isolant avec une constante diélectrique plus élevée que le SIO 2, ou comme protection de blocage lorsque le CMP élimine le SIO 2, après quoi le Sin est également éliminé. Les propriétés des films isolants lorsqu'ils sont utilisés comme cela, il est nécessaire de mesurer l'épaisseur de ces films pour un contrôle précis du processus.

FPD industries – détermination de l’épaisseur des films photorésistifs colorés

Dans le processus de fabrication du film de filtre coloré, la résistance lumineuse colorée est généralement appliquée sur toute la surface du verre, le développement de l'exposition par photolithographie laisse le motif nécessaire. RGB tricolore complète cette procédure à son tour.

L'épaisseur non constante de la résistance lumineuse colorée est la cause de la déformation du motif RGB, de la déviation de couleur du filtre coloré et est donc très importante pour la gestion de l'épaisseur du film de la résistance lumineuse colorée.

FPD industries – analyse des constructions Ito en mode incliné

Le film Ito est un matériau d'électrode transparent utilisé par les panneaux à cristaux liquides et autres, après la fabrication du film, il doit subir un traitement de recuit (traitement thermique) pour améliorer la conductivité et la transmission de la lumière. A ce moment, l'état de l'oxygène et la cristallinité changent, de sorte que l'épaisseur du film produit une variation progressive de l'inclinaison. Optiquement, il ne peut être considéré comme constituent un film monocouche homogène.

Pour un tel Ito, on mesure le degré d'inclinaison avec le mode d'inclinaison, par les valeurs de NK de l'interface supérieure et de l'interface inférieure.

Industrie des semi - conducteurs – détermination de l’épaisseur du film sur des substrats rugueux à l’aide de coefficients d’interface

Si la surface du substrat n'est pas spéculaire et que la rugosité est importante, la chute de lumière mesurée est faible et la réflectivité mesurée est inférieure à la valeur réelle en raison de la diffusion.

En utilisant le coefficient d'interface, car la diminution de la réflectivité à la surface du substrat est prise en compte, on peut mesurer la valeur de l'épaisseur du film sur le substrat.

DLC Coating Industry – mesure de l’épaisseur des revêtements DLC pour divers usages

Les revêtements DLC (diamond like) sont largement utilisés pour diverses utilisations en raison de leurs caractéristiques telles que la dureté élevée, le faible coefficient de frottement, la résistance à l'usure, l'isolation électrique, la barrière élevée, la modification de surface et l'affinité avec d'autres matériaux.

Avec un système micro - optique, il est possible de mesurer des échantillons en forme. En outre, le moniteur, tout en confirmant la façon dont la mesure est effectuée tout en vérifiant la position de la mesure, peut être utilisé pour analyser la cause de l'anomalie.