Système de dépôt chimique en phase vapeur plasma

PECVDSystème de dépôt chimique en phase vapeur plasma

1. Laver le revêtement en un clin d'œil pour éliminer la pollution secondaire;

2. Structure ouverte supérieure, pratique pour observer l'échantillon;

3. Le produit adopte la méthode de contrôle entièrement automatique, écran tactile, affichage numérique;

4. Haut degré d'intégration des équipements;

5. Alimentation RF stable, distribution uniforme de la température, amélioration de la qualité filmogène;

Modèle du produitNBD-PECVD1200-80TI

Spécifications électriquesAC220V 4KW

Température accessible1200 ℃

Température continue1150℃

Peut atteindre la vitesse de chauffage ≤ 20 ℃/minute

Puissance RF300ou500W 13,56 MHz

Taille du tube du four Φ80 * 1200mm

PECVDSystème de dépôt chimique en phase vapeur plasma

Système de contrôle

1Et,NBD-101EPInterface graphique interchangeable en anglais dans le système d'exploitation intégré,7Entrée d'écran tactile couleur véritable pouce, mode de dialogue homme - machine intelligent, affichage de la puissance de chauffage en temps réel, correction de la température d'échantillon non linéaire; Les rapports expérimentaux sont générés de manière autonome et les données expérimentales sont exportées un nombre illimité de fois.

2Le processus expérimental est plus intuitif et plus facile à utiliser;3, avec alarme de surchauffe, indice de couple cassé, protection contre les fuites, etc.

Précision de la température+ / - 1℃

Éléments chauffantsMoDopéFé-Cr-Al合金

Système d'étanchéité

真空度： ≤10 Pa(pompe mécanique)

La mesure et la surveillance de la pression utilisent un vacuomètre à affichage numérique, ce qui rend le degré de vide de l'équipement plus intuitif et les résultats expérimentaux plus précis.

Le système d'alimentation en gaz adopte un débitmètre à protons à deux voies pour contrôler avec précision le débit de gaz, intégré à l'équipement;

Poids net360kg

Précautions d'utilisation de l'équipement

1, température du four de l'équipement ≥300Lorsque ℃, il est interdit d'ouvrir le four et d'éviter les blessures;

2Lorsque l'équipement est utilisé, la pression dans le tube du four ne doit pas dépasser0,125MPa(pression absolue) pour éviter que l'équipement ne soit endommagé par une pression excessive;

3Lors de l'utilisation sous vide, la température d'utilisation de l'équipement ne doit pas dépasser800℃。

4, la pression de l'air à l'intérieur du cylindre d'alimentation en gaz est plus élevée, lorsque le gaz est introduit dans le tube du four, la bouteille de gaz doit être équipée d'une soupape de décompression, il est recommandé d'utiliser une petite soupape de décompression pour les essais d'achat, la plage de soupape de décompression est0,01MPa-0,15MPa,Il sera plus précis et sûr à utiliser.

5Lorsque la température du four est supérieure à1000Lorsque ℃, le tube du four ne peut pas être dans un état de vide, les besoins en pression d'air et la pression atmosphérique dans le tube du four sont comparables, maintenus à l'état de pression normale;

6, longue température d'utilisation de tube de quartz de haute pureté ≤1100℃

7Lors de l'expérience de chauffage, il n'est pas recommandé de fermer les vannes d'extraction et d'admission d'air à l'extrémité de la bride du tube du four. Si vous avez besoin de fermer la vanne de gaz pour chauffer l'échantillon, vous devez toujours prêter attention à l'affichage du manomètre, si la lecture du manomètre absolu est supérieure à0,15 MPa, la soupape d'extrémité d'échappement doit être ouverte immédiatement en cas d'accident (par exemple, rupture du tube du four, vol de la bride, etc.)

Soutien du Service1Garantie de qualité annuelle avec support à vie (les composants consommables tels que les tubes de four et les joints d'étanchéité, etc., ne sont pas couverts par la garantie).