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Beijing Zhongke Aobo Technology Co., Ltd
Fabricant sur mesure

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Nettoyeur plasma

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Vue d'ensemble

Le nettoyeur à plasma, en tant qu'équipement de traitement de surface microscopique solide, est un tout nouveau programme de traitement de surface. Le plasma est un état de la matière, également appelé le quatrième état de la matière. Appliquer suffisamment d'énergie au gaz pour qu'il devienne plasmatique. Les composants "actifs" du plasma comprennent: les ions, les électrons, les groupes actifs, les nucléides à l'état excité (métastable), les photons, etc. Les nettoyeurs plasma sont conçus pour traiter la surface de l'échantillon en utilisant les propriétés de ces composants actifs, ce qui permet le nettoyage et d'autres objectifs.

Détails du produit

Nettoyeur plasmaEn tant qu'équipement de traitement de Surface Micro - solide, il s'agit d'un tout nouveau programme de traitement de surface. Le plasma est un état de la matière, également appelé le quatrième état de la matière. Appliquer suffisamment d'énergie au gaz pour qu'il devienne plasmatique. Du plasmaActivité« etLes composants comprennent: les ions, les électrons, les groupes actifs, les nucléides à l'état excité (métastable), les photons, etc.Nettoyeur plasmaC'est en utilisant les propriétés de ces composants actifs pour traiter la surface de l'échantillon, ce qui permet d'atteindre des objectifs tels que le nettoyage.

Principalement appliqué aux semi - conducteurs, au processus de revêtement,PCBLe processus de fabrication,PCBProcessus, avant l'encapsulation du composant,COGNettoyage de précision dans des industries telles que l'électronique de façade, l'électronique sous vide, les connecteurs et les relais, l'activation de surfaces telles que le plastique, le caoutchouc, le métal et la céramique et les expériences en sciences de la vie, etc.

Construit dans un corps de bac en quartz de haute pureté, ce nettoyeur utilise une nouvelle conception de structure d'électrode et une technologie d'alimentation à l'état solide, ce qui lui permet d'augmenter son volume utile, de s'adapter facilement à différents environnements de gaz sous vide et de contrôler la fréquence de manière stable. La porte de la cuve à vide a une fenêtre d'observation, peut intuitivement le processus de traitement des objets, son alimentation RF et le contrôle sont tous assemblés dans un châssis, c'est - à - dire que l'occupation de l'espace est réduite, plus facile à utiliser et à placer, tout en étant comparé à la grande machine de nettoyage, de la fonction de détection et de la fonction de contrôle du réglage peut être utilisé sur un panneau, en particulier pour le nettoyage et l'enseignement des échantillons d'expériences scientifiques.

Modèle d'équipement

Z5KQX

S2DQX

Mode de contrôle

7Interface homme - machine à écran tactile pouce

7Interface homme - machine à écran tactile pouce

Alimentation électrique

AC220V(AC110VFacultatif) et

Courant de travail

Le courant de fonctionnement de la machine entière n'est pas supérieur à3.5A(Sans pompe à vide) et

Puissance d'alimentation RF

500W

150W

Méthode de Matching

Correspondance automatique

Correspondance manuelle

Fréquence de nettoyage

40 KHz

13,56 MHz

Mode de couplage

Couplage capacitif

Vide de travail

≤30Pa

≤50Pa

Matériau de la cavité

Quartz de haute pureté

Volume de la cavité

5L(Diamètre intérieurΦ152mmXprofondeur280mm)

2L(Diamètre intérieurΦ110mmXprofondeur220 mm)

Diamètre intérieur de la fenêtre d'observation

Φ50

Φ50

Débit de gaz

0-50ml/min(capteur de Débit massique thermiqueX2Une)

Gamme de jauge à vide

1E5Paà1E-1Pa(aspiromètre pirani)

Contrôle des processus

Commutation automatique

Correspondance manuelle commutation automatique

Temps de nettoyage

Interrupteur automatique

Mode de couverture ouverte

Bride ouverte côté charnière

Dimensions extérieures

450*450*250mm

450*450*360mm

Température de la chambre à vide

Moins que65°C

Mode de refroidissement

Refroidissement forcé par air

Standard équipé

KF16Tubes à vide1Mètres,Kf16collier de serrage2Un, boîte en maille en acier inoxydable1Un, un cordon d'alimentation, un manuel d'instructions.