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Xili yaojiao, district de Chaoyang, Pékin
Beijing Zhongke Aobo Technology Co., Ltd
Xili yaojiao, district de Chaoyang, Pékin
Nettoyeur plasmaEn tant qu'équipement de traitement de Surface Micro - solide, il s'agit d'un tout nouveau programme de traitement de surface. Le plasma est un état de la matière, également appelé le quatrième état de la matière. Appliquer suffisamment d'énergie au gaz pour qu'il devienne plasmatique. Du plasma“Activité« etLes composants comprennent: les ions, les électrons, les groupes actifs, les nucléides à l'état excité (métastable), les photons, etc.Nettoyeur plasmaC'est en utilisant les propriétés de ces composants actifs pour traiter la surface de l'échantillon, ce qui permet d'atteindre des objectifs tels que le nettoyage.
Principalement appliqué aux semi - conducteurs, au processus de revêtement,PCBLe processus de fabrication,PCBProcessus, avant l'encapsulation du composant,COGNettoyage de précision dans des industries telles que l'électronique de façade, l'électronique sous vide, les connecteurs et les relais, l'activation de surfaces telles que le plastique, le caoutchouc, le métal et la céramique et les expériences en sciences de la vie, etc.
Construit dans un corps de bac en quartz de haute pureté, ce nettoyeur utilise une nouvelle conception de structure d'électrode et une technologie d'alimentation à l'état solide, ce qui lui permet d'augmenter son volume utile, de s'adapter facilement à différents environnements de gaz sous vide et de contrôler la fréquence de manière stable. La porte de la cuve à vide a une fenêtre d'observation, peut intuitivement le processus de traitement des objets, son alimentation RF et le contrôle sont tous assemblés dans un châssis, c'est - à - dire que l'occupation de l'espace est réduite, plus facile à utiliser et à placer, tout en étant comparé à la grande machine de nettoyage, de la fonction de détection et de la fonction de contrôle du réglage peut être utilisé sur un panneau, en particulier pour le nettoyage et l'enseignement des échantillons d'expériences scientifiques.
Modèle d'équipement |
Z5KQX |
S2DQX |
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Mode de contrôle |
7Interface homme - machine à écran tactile pouce |
7Interface homme - machine à écran tactile pouce |
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Alimentation électrique |
AC220V(AC110VFacultatif) et |
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Courant de travail |
Le courant de fonctionnement de la machine entière n'est pas supérieur à3.5A(Sans pompe à vide) et |
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Puissance d'alimentation RF |
500W |
150W |
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Méthode de Matching |
Correspondance automatique |
Correspondance manuelle |
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Fréquence de nettoyage |
40 KHz |
13,56 MHz |
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Mode de couplage |
Couplage capacitif |
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Vide de travail |
≤30Pa |
≤50Pa |
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Matériau de la cavité |
Quartz de haute pureté |
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Volume de la cavité |
5L(Diamètre intérieurΦ152mmXprofondeur280mm) |
2L(Diamètre intérieurΦ110mmXprofondeur220 mm) |
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Diamètre intérieur de la fenêtre d'observation |
Φ50 |
Φ50 |
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Débit de gaz |
0-50ml/min(capteur de Débit massique thermiqueX2Une) |
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Gamme de jauge à vide |
1E5Paà1E-1Pa(aspiromètre pirani) |
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Contrôle des processus |
Commutation automatique |
Correspondance manuelle commutation automatique |
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Temps de nettoyage |
Interrupteur automatique |
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Mode de couverture ouverte |
Bride ouverte côté charnière |
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Dimensions extérieures |
450*450*250mm |
450*450*360mm |
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Température de la chambre à vide |
Moins que65°C |
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Mode de refroidissement |
Refroidissement forcé par air |
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Standard équipé |
KF16Tubes à vide1Mètres,Kf16collier de serrage2Un, boîte en maille en acier inoxydable1Un, un cordon d'alimentation, un manuel d'instructions. |
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