Machine à rayer semi - conducteur de précision

La machine à gratter la plaquette est un équipement de haute précision qui utilise des lames ou des lasers et d'autres moyens pour couper la plaquette avec une grande précision, principalement pour le processus postérieur de la puce semi - conductrice, y compris le grattage, la segmentation ou le rainurage de la plaquette et d'autres micro - usinages fins. En tant qu'équipement clé pour les segments de découpe de disque médian et de découpe WLP dans la mesure de l'encapsulation de canal arrière de semi - conducteur, la qualité et l'efficacité de la découpe ont un impact direct sur la qualité de l'encapsulation et le coût de production de la puce.

Machine à rayer semi - conducteur de précisionLa configuration du logiciel et du matériel du système Mr 200 permet un traçage de haute précision et donc une découpe précise des tranches de silicium structurées. Le Mr 200 est un outil très puissant, particulièrement important dans la préparation des échantillons SEM pour la technologie des semi - conducteurs. En outre, le Mr 200 est également adapté à la séparation de coupe de petits lots de puces, par exemple dans des applications de laboratoire.

Machine à rayer semi - conducteur de précisionLe dispositif de base mécanique offre de nombreuses options pour ajuster les paramètres de traçage. Les optiques de zoom de haute qualité permettent un réglage continu et continu du grossissement de 8X à 40x. Les composants optiques et mécaniques peuvent être étendus par des modules auxiliaires qui améliorent l'efficacité opérationnelle et le confort d'interaction homme - machine. Un tel module comprend un système de caméra, un système de traitement d'image ainsi qu'un système de mesure de déplacement de la table.

Système de caméra:

Ce microscope à zoom de haute qualité permet une commutation continue entre la vue d'ensemble et la vue détaillée de la surface du spécimen. Grâce au réglage fin de la table de chargement X / y, il est possible de positionner les spécimens avec une grande précision. Le point de départ et l'angle de travail du diamant de trait peuvent être ajustés, la Croix oculaire est utilisée pour marquer le point de départ. Le système vidéo est disponible en option, et après avoir configuré cette fonction, la situation de la surface de la plaquette peut être observée en temps réel sur l'écran du PC.

Système de traitement d'image:

Les optiques de zoom de haute qualité permettent un réglage continu et continu du grossissement de 8X à 40x.

Système de mesure de déplacement de table:

Appareil de mesure de déplacement numérique, adapté à la détection de positionnement de la table, avec une spécification de portée de 100mm / 200mm. Le mesureur permet un positionnement très précis de la table de cristal dans la direction perpendiculaire à la direction de la lame, l'un de ses principaux objectifs étant de tracer avec précision la grille.

Appareil de mesure de déplacement numérique pour la détection de positionnement de la table avec une plage de mesure de 100mm

Appareil de mesure de déplacement numérique pour la détection de positionnement de la table avec une plage de 200 mm

Paramètres techniques:

Système optique:

Les optiques de zoom de haute qualité permettent un réglage en continu du grossissement de 8X à 40x, et ce microscope a beaucoup d'accessoires à choisir pour plus de fonctionnalités.

Accessoires optionnels:

1, appareil de mesure de déplacement numérique: 100mm / 200mm

Le mesureur permet un positionnement très précis de la table de cristal dans la direction perpendiculaire à la direction de la lame, l'un de ses principaux objectifs étant de tracer avec précision la grille.

2, kit de mise à niveau d'adaptation de la caméra

Le kit de mise à niveau pour les caméras CCD comprend les composants de microscope correspondants. En outre, un appareil photo, un moniteur ou un ordinateur avec un logiciel de traitement d'image est nécessaire. Les clients peuvent choisir entre des solutions personnalisées ou utiliser des caméras, des ordinateurs et des logiciels fournis par OEG.

3, système vidéo couleur

Cette option comprend un appareil photo couleur de 1,3 mégapixel, un ordinateur tout - en - un et un logiciel de traitement d'image qui affiche les images de l'appareil photo à l'écran et prend en charge la sauvegarde des images.

4, mesure de largeur de ligne

Ce logiciel de traitement d'image étendu permet des mesures de largeur de ligne de haute précision avec des résolutions de sous - pixels.

Coupe précise, facile à utiliser:

Après fixation du substrat sur le mandrin, le Microscope est aligné sur la plaquette. En entraînant manuellement le déplacement de la table le long des axes X et y, il est possible d'ajuster le trait de trait à un repère ou à une structure sur l'échantillon. Un microscope à zoom de haute qualité permet de basculer rapidement entre le diagramme de probabilité et le diagramme de détail d'un échantillon. Le réglage fin par la table X / y permet un positionnement très précis des plaquettes. Le point de contact du diamant de traçage peut être ajusté par la ligne de croix sur l'oculaire ou l'écran d'affichage, et le levage et la descente sont commandés par l'interrupteur à pied, les deux mains peuvent actionner le mouvement de traçage en même temps. Une fois que vous avez déterminé la position du trait, posez le diamant à l'aide d'un interrupteur à pied et déplacez manuellement le mandrin pour terminer le trait.