Process ozone Analyzer Semiconductor Dry Cleaning Equipment spécial

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Vue d'ensemble

Process ozone Analyzer Semiconductor Dry Cleaning Equipment Special est un module de détection de gaz pour la mesure de concentrations élevées d'ozone pour la détection de concentrations d'ozone gazeux dans les processus industriels. Basé sur le principe de l'absorption par spectroscopie UV, l'utilisation de gaz d'ozone pour différentes tailles de la force d'absorption UV spécifique pour atteindre l'objectif de la détection de la concentration d'ozone, en utilisant la structure de la Chambre de détection résistant aux chocs à haute pression et la conception de contrôle de la température constante, avec précision et fiabilité.

Détails du produit

Process ozone Analyzer Semiconductor Dry Cleaning Equipment spécialEst un module de détection de gaz pour la mesure de concentrations élevées d'ozone pour la détection des concentrations d'ozone gazeux dans les processus industriels. Basé sur le principe de l'absorption par spectroscopie UV, l'utilisation de gaz d'ozone pour différentes tailles de la force d'absorption UV spécifique pour atteindre l'objectif de la détection de la concentration d'ozone, en utilisant la structure de la Chambre de détection résistant aux chocs à haute pression et la conception de contrôle de la température constante, avec précision et fiabilité.

Domaines d'application

Cet instrument est principalement utilisé pour mesurer la concentration d'ozone gazeux produite dans la fabrication de plaquettes semi - conductrices, le traitement de l'eau et la recherche sur l'ozone, etc., la plage de mesure peut atteindre0 à 400 mg/L- Oui.

Produits spéciauxLe point
①Haute stabilité;

②Adopter un système de contrôle automatique;

③Conception de matériaux de contact de haute pureté;

④Température, pression、source de lumièreTemps réelcompensation, données stables et précises dans différents environnements; 过程臭氧分析仪半导体干法清洗设备专用

⑤Conception linéaire de la voie d'air, ce qui rend l'installation du produit plus pratique;

⑥La bague d'étanchéité est en matériau perfluoroéther, plus résistant à la corrosion à l'ozone.

Process ozone Analyzer Semiconductor Dry Cleaning Equipment spécialtechnologieparamètre
Quantité Le parcours:0400 mg / L
La fine DegrésPour:1 % F.S.
lourd RecopierSexePour:1 % F.S.

zéro Dérive Déplacement:1% F.S. / mois
Temps de réponsePour:2 secondes à 95%

Débit de gaz:0,5-25L/min

Gamme de pression:0 à 115 psi
Sortie analogiquePour:0-5V

Communication de port série:RS485， Débit en bauds 9600bps

Entrée de puissance:15 V

Prendre 口Pour:Acier inoxydable 316L 1 / 4vcr connecteur

Temps de préchauffage:15 minutes

Température de fonctionnement:5～45℃

Température Standard:0℃
Règle Pouces:170*55* 134.9mm
lourd Quantité:1.1k

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