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research@resemtech.com
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Adresse
C305, route 88 Baifu, zone de développement économique de Kunshan, Province du Jiangsu
Kunshan risech instrument de précision Co., Ltd
research@resemtech.com
C305, route 88 Baifu, zone de développement économique de Kunshan, Province du Jiangsu
Paramètres associés:
| Projets | Description |
| Se résolution | 3.0nm (30kV), Mode de vide élevé / 10nm (3Kv), mode de vide élevé |
| Résolution BSE | 4.0nm (30kV), Mode de vide bas |
| Grossissement | x5 ~ x300,000 |
| Tension d'accélération | 0.3 ~ 30 kV |
| Gamme de vide faible | 6 ~ 270 Pa |
| Taille maximale de l'échantillon | Diamètre 200mm |
| Table d'échantillons | Type I type II |
| X | 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm |
| Y | 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm |
| Z | 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm |
| R | 360o 360o |
| T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
| T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
| Hauteur maximale de l'échantillon | 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm) |
| Type de conduite | Entraînement manuel à moteur à cinq axes |
| Filaments | Pré - paire de filaments de tungstène chinois |
| Barre optique Objectif | Barre optique d'objectif mobile 4 trous |
| Polarisation de pistolet | Polarisation proportionnelle fixe, polarisation manuelle et automatique à 4 biais |
| Détecteur | Détecteur d'électrons secondaires détecteur d'électrons à rétrodiffusion à semi - conducteur haute sensibilité |
| Analyser la position | WD=10mm, TOA=35o |
| Contrôle | Souris, clavier, boutons manuels |
| Correction automatique | Saturation automatique du filament, 4 polarisations automatiques, centrage automatique du pistolet, réglage automatique du flux de faisceau, désaccouplement automatique de l'axe, désaccouplement automatique de la mise au point, contraste de luminosité automatique |
Description détaillée
1. Le S - 3400n a une fonction automatique puissante, y compris la saturation automatique du filament, la polarisation 4, le centrage automatique du pistolet, le réglage automatique du flux de faisceau,
Autofocus et dissipation automatique de l'axe, contraste automatique de luminosité, etc.
2. La résolution de 10nm est garantie à la basse tension d'accélération de 3Kv.
3. Nouvelle sonde de rétrodiffusion de type semi - conducteur à 5 divisions et haute sensibilité.
4. Le type II de S - 3400n a la table de moteur de cinq axes, l'angle d'inclinaison jusqu'à - 20 degrés ~ + 90 degrés, l'échantillon jusqu'à 80mm.
Le magasin d'échantillons d'analyse peut installer edX, wdx et EBSD en même temps.
6. Le système de vide utilise la pompe turbomoléculaire, propre et efficace