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Kunshan risech instrument de précision Co., Ltd
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Microscope électronique à balayage S - 3400n

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Vue d'ensemble

Paramètres associés: description du projet se résolution 3.0nm (30kv), mode de vide élevé / 10nm (3Kv), mode de vide élevé résolution BSE 4.0nm (30kv), mode de vide faible amplification…

Détails du produit

Paramètres associés:


Projets Description
Se résolution 3.0nm (30kV), Mode de vide élevé / 10nm (3Kv), mode de vide élevé
Résolution BSE 4.0nm (30kV), Mode de vide bas
Grossissement x5 ~ x300,000
Tension d'accélération 0.3 ~ 30 kV
Gamme de vide faible 6 ~ 270 Pa
Taille maximale de l'échantillon Diamètre 200mm
Table d'échantillons Type I type II
X 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm
Y 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm
Z 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm
R 360o 360o
T -20o~ +90o -20o ~ +90o
T -20o~ +90o -20o ~ +90o
Hauteur maximale de l'échantillon 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm)
Type de conduite Entraînement manuel à moteur à cinq axes
Filaments Pré - paire de filaments de tungstène chinois
Barre optique Objectif Barre optique d'objectif mobile 4 trous
Polarisation de pistolet Polarisation proportionnelle fixe, polarisation manuelle et automatique à 4 biais
Détecteur Détecteur d'électrons secondaires détecteur d'électrons à rétrodiffusion à semi - conducteur haute sensibilité
Analyser la position WD=10mm, TOA=35o
Contrôle Souris, clavier, boutons manuels
Correction automatique Saturation automatique du filament, 4 polarisations automatiques, centrage automatique du pistolet, réglage automatique du flux de faisceau, désaccouplement automatique de l'axe, désaccouplement automatique de la mise au point, contraste de luminosité automatique


Description détaillée


1. Le S - 3400n a une fonction automatique puissante, y compris la saturation automatique du filament, la polarisation 4, le centrage automatique du pistolet, le réglage automatique du flux de faisceau,
Autofocus et dissipation automatique de l'axe, contraste automatique de luminosité, etc.
2. La résolution de 10nm est garantie à la basse tension d'accélération de 3Kv.
3. Nouvelle sonde de rétrodiffusion de type semi - conducteur à 5 divisions et haute sensibilité.
4. Le type II de S - 3400n a la table de moteur de cinq axes, l'angle d'inclinaison jusqu'à - 20 degrés ~ + 90 degrés, l'échantillon jusqu'à 80mm.
Le magasin d'échantillons d'analyse peut installer edX, wdx et EBSD en même temps.
6. Le système de vide utilise la pompe turbomoléculaire, propre et efficace