SU1510

Spécifications standard

(1) Spécifications de base

Résolution d'image SE : 3,0 nm à 30 kV (x100 000, WD = 5 mm, mode haut vide)
15 nm à 3 kV (x30 000, WD = 5 mm, mode vide élevé)

Résolution d'image BSE : 4,0 nm à 30 kV (x60 000, WD = 5 mm, 6 Pa en mode faible vide)

Magnification : » 5 –»300 000
(Les agrandissements les plus élevés et les plus bas dépendent de la tension d'accélération, de la vitesse de balayage WDand)

(2) ElectronOptique

Source de faisceau d'électrons : Filament de cartouche précentré (filament de cheveux en tungstène)

Accélération de la tension : 0,3 kV à 30 kV

Bias de l'arme : Bias du quadrant

Alignement du faisceau Déflexion électromagnétique à 2 étapes (fonctionne comme blanchiment du faisceau lorsqu'une image est gelée)

Système de lentilles : optique de réduction de lentilles électromagnétiques à 3 étages

Stigmateur : X-Y octopole électromagnétique

Bobine de balayage : Déflexion électromagnétique à 2 étapes

Ouverture mobile de l'objectif: 4 trous avec conception d'arrêt à clic (30, 50, 80, 150 µm de diamètre)

Déplacement d'image : ±50 µm ou plus à WD = 15 mm

Position d'analyse : WD = 15 mm, TOA = 35°

Détecteurs : détecteur SE en mode haut vide
Détecteur d'ESB en mode vide élevé et faible

(3) Étape d'échantillon

(4) Système d'évacuation

Contrôle de l'évacuation Séquence entièrement automatique avec vannes moteur

Gauge de vide : Calibre Pirani

Le vide ultime : 1,5 x 10^-3Pa

Plage de pression réglable: 6 – 270 Pa (mode vide intérieur seulement)

Pompe à vide :Pompe moléculaire turbo (TMP) 210l/s,»1 pompe rotative à huile 135 l/min. (50Hz), 162 l/min. (60Hz),»1

(5) Affichage

Contrôle : Interface utilisateur graphique (GUI), menu anglais

OS : Microsoft^®Fenêtres^®XP Professionnel

Fonctionnement: Souris/clavier, ensemble de boutons rotatifs (option)

Moniteur : 19 type LCD (1280)»1024 pixels sur le bureau)

Mode d'affichage de l'image : Affichage plein écran (1280 ´960 pixels)
Affichage standard (640)480 pixels)
Affichage double image (640 ´480 pixels)»2), mélange de signaux

Mode de balayage : Télévision/FAST

: Lent

Réduction de la surface (320)»240 pixels)

: forme d'onde

: écran divisé / double agrandissement

Capture d'image haute définition (max. 2560 ´1920 pixels)

Capture d'image d'intégration de cadre (max. 2560 ´1920 pixels)

Vitesse de balayage : balayage de télévision
(640»480 pixels, 25/30* images/s.)

: balayage rapide
(écran plein écran: 6,3/7,5* images/sec.)

: balayage lent
(écran plein écran: 1, 4, 20/16, 40/32, 80/64* sec./cadre)
(640»480 pixels: 0,5, 2, 10/8, 20/16, 40/32*sec./image)

Scan de zone réduite
(320»240 pixels : 25/30,3/4* images/s.)
* Fréquence d'alimentation: 50/60Hz

Fonctions d'ajustement automatique

Lumière et contraste automatique (ABCC)

Contrôle automatique de la mise au point (AFC)

Stigmateur automatique et Focus (ASF)

Saturation automatique des filaments (AFS)

Alignement automatique du faisceau (ABA)

Réglage automatique du faisceau (ABS)
(AFS + ABA + Bias automatique de pistolet)

Fonctions de traitement du signal et de l'image

: Amélioration du rapport S/N en moyen (TV, balayage FAST)

Amélioration du rapport S/N par intégration de pixels

Amélioration du rapport S/N par intégration de trame
(maximum d'images pour l'intégration: 1024)(TV, FAST, SLOW1)

Affichage d'image bi-couleur composite
(En temps réel sur le mode d'affichage d'image double / Enregistrer l'image)

: Affichage pseudo couleur (Enregistrer l'image)

Traitement d'image en temps réel
(Contraste inversé, contrôle gamma)

: Affichage d'histogramme en temps réel

Traitement d'image pour enregistrer l'image
(Contraste inversé, contrôle gamma, lissage, amélioration des bords, etc.)

Sauvegarde d'image : Taille d'enregistrement d'image
(640»480 pixels, 1280 ´960 pixels, 25601920 pixels, 5120»3840 pixels)

Format de fichier d'image: BMP, TIFF, JPEG

Imprimer l'image Fonction d'impression de mise en page gratuite en standard

Gestion de l'enregistrement d'image

Gestionnaire de données SEM (base de données d'image) en standard
(Gestion des données, affichage des miniatures, diverses fonctions de traitement d'image)

Autres fonctions : blanchiment du faisceau lorsqu'une image est gelée.

: Rotation de rastre

: Focus dynamique / compensation d'inclinaison

: Affichage de données (numéro d'image, tension d'accélération, agrandissement, marqueur de micron, unité, WD, date, heure, pression, détecteur)
Affichage de données sélectionnable entre avec et sans image

:Entrée des données[Figures (cercle, rectangulaire, flèche, ligne de mesure), caractères[…]

: fonction de mesure facile (distance entre 2 points et lignes de mesure avec flèche)

Guide d'entretien d'animation 3D

Transfert d'image vers Quartz Imaging PCI

Fonction de mode rayons X : terminaux de signal d'entrée pour les rayons X-Rate-meter (0 - +10V) andMapping (TTL)

:Mode de balayage (analyse en ligne, analyse en point, analyse de concentration moyenne)

:Interface DBC (option)

Port de connexion pour équipements externes

: interface USB

:Interface réseau (Ethernet), Configuration est en option.

Signal VTR : Signal noir et blanc NTSC seulement (BNC), une image en mode d'affichage standard seulement.

(6) Dispositif de sécurité

: Protégé contre la panne d'électricité, le courant de fuite et la panne de vide.

(7) Dimension et poids