Le petit générateur de plasma est un petit nettoyeur à plasma de table spécialement développé pour les besoins du laboratoire, la Chambre de traitement est en verre de quartz cylindrique et le processeur est de type électrode externe à couplage capacitif sans électrode interne.
Introduction au produit:
Petit générateur de plasmaUtilisez le plasma pour nettoyer la surface de la substance à des fins de nettoyage, d'activation, de modification, de gravure, etc. Il peut être appliqué au nettoyage de précision dans des industries telles que les semi - conducteurs, la microélectronique, le pré - COG, le processus de LED, le pré - encapsulation de dispositifs, l'électronique sous vide, les connecteurs et les relais, l'activation de surfaces telles que les plastiques, le caoutchouc, les métaux et les céramiques et les expériences en sciences de la vie, etc.
Petit générateur de plasmaPrincipalement par l'unité de contrôle, la chambre à vide et la pompe à vide trois parties, grâce à la technologie de commande numérique par ordinateur, divers paramètres peuvent être facilement ajustés, car le processus de nettoyage est effectué dans la chambre à vide, de sorte qu'après le nettoyage, il n'y a pas de séchage, L'opération est simple et l'efficacité est élevée.

Caractéristiques: technologie de décharge euro - américaine, structure de décharge professionnelle, distribution uniforme du plasma de simulation scientifique, effet de traitement uniforme.
Application du produit: amélioration de l'hydrophilie, amélioration de l'adhérence, microgravure de surface, élimination des matières organiques, réduction des oxydes, amélioration de l'adhérence des encres d'impression.
Paramètres du produit:
modèle |
VPS-RF160 |
Fréquence plasma |
13.56mhz adaptation automatique d'impédance |
工作真空度 |
10 à 100Pa |
Pompe à vide |
Pompe à huile / pompe sèche (facultatif) |
puissance |
0 - 1000w réglable |
Matériau de la cavité |
Acier inoxydable 316L de catégorie importée / alliage d'aluminium d'aviation (facultatif) |
Taille de la cavité |
560 (L) * 610 (D) * 500 (H) mm |
Volume de la cavité |
165L |
Zone de traitement efficace à une seule couche |
W520mm x D520mm |
Nombre de voies de gaz |
Gaz 2 voies, oxygène de soutien, argon, azote, hydrogène, etc. (gaz corrosif à personnaliser) |
Nombre de couches traitées |
8 couches (peut être personnalisé) |
Mode de contrôle |
PLC + écran tactile |
alimentation |
AC380V, 50/60Hz |
Dimensions extérieures |
950mm (L) × 1300mm (L) × 1850 mm (H) |