Swiss VAT vanne pendulaire à haute pression contrôlée par vide série 65.3

NégociableMise à jour sur05/13

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Swiss VAT Valve pendulaire contrôlée à vide élevé série 65.3 $R $N optimise le contrôle et l'isolation de la pression aval dans les systèmes de semi - conducteurs et d'affichage $R $n65.3 Valve pendulaire contrôlée établit une nouvelle norme en matière de contrôle et d'isolation de la pression aval. Conçue pour les systèmes de production de semi - conducteurs et d'écrans, cette série de vannes à Pendule de pression contrôlée offre un haut niveau de contrôlabilité sur une large plage de conductivité de flux. 65.3 Valve pendulaire de pression contrôlée est équipée d'un moteur avec contrôle de position intégré qui offre des fonctions améliorées.

Détails du produit

Swiss VAT vanne pendulaire à haute pression contrôlée par vide série 65.3

65.3 la vanne pendulaire à commande fixe une nouvelle norme pour le contrôle et l'isolation de la pression en aval. Conçue pour les systèmes de production de semi - conducteurs et d'écrans, cette série de vannes à Pendule de pression contrôlée offre un haut niveau de contrôlabilité sur une large plage de conductivité de flux. 65.3 Valve pendulaire de pression contrôlée est équipée d'un moteur avec contrôle de position intégré qui offre des fonctions améliorées.

Le Contrôleur de disque offre une toute nouvelle contrôlabilité avec une puissance de traitement de données 32 bits supérieure. Cela signifie que les différentes positions de la plaque de valve pendulaire peuvent être contrôlées très rapidement, finement et précisément, ce qui permet un contrôle très précis de la pression en aval dans un temps de réponse extrêmement court. La séquence de mouvement prédéfinie de la vanne peut être ajustée pour la vitesse et le parcours en fonction de divers paramètres de processus en constante évolution. 65.3 la vanne à Pendule de pression contrôlée empêche également la libération de particules. Le Mouvement de fermeture amorti optimisé de la plaque de soupape évite les chocs et les vibrations habituels des soupapes traditionnelles. 65.3 la fermeture de la vanne de contrôle du pendule est lisse et sans tracas, presque imperceptible à la fermeture et à l'ouverture. La plaque de soupape assure un guidage mécanique très précis qui assure un contrôle sans contact du flux d'air en mouvement alternatif et une étanchéité uniforme dans toutes les zones du mouvement d'étanchéité.

Les vannes pendulaires à commande 65.3 ont été installées dans des centaines d'applications exigeantes dans diverses conditions de processus, démontrant ainsi leur fiabilité et leurs performances. 65.3 vannes pendulaires à pression contrôlée sont également idéales pour la rénovation des systèmes existants.

65.3 vannes pendulaires commandées en DN 100 - 350 mm (4 '- 14') en aluminium ou en aluminium anodisé dur avec raccords à brides STANDARD ISO - F et JIS. Des brides personnalisées peuvent être intégrées et sont également disponibles en option de montage direct. Le matériau d'étanchéité standard est le caoutchouc fluoré et d'autres matériaux peuvent être utilisés sur demande.

Le Contrôleur peut utiliser des algorithmes de contrôle spéciaux (adaptatif, PID fixe, amont, Soft pull). Les différents ports d'extrémité standard du Contrôleur sont facilement accessibles via un ordinateur personnel ou en se connectant à une unité de contrôle de processus (PCU). Le logiciel dédié Control Performance Analyzer (CPA) permet d'étalonner facilement les vannes pendulaires 65.3 et de simplifier la planification de la maintenance

瑞士VAT高真空控压摆阀65.3系列

Caractéristiques:

Contrôle de pression rapide et précis
Opération sans impact: pas de génération de particules
Amélioration de la stabilité du processus: tous les débits et pressions peuvent être contrôlés
Régulateur de pression intégré 32 bits (ic2) avec analyseur de performance de contrôle (CPA)
Rénovation « Plug and play »: aucun étalonnage ni match requis

Avantages:

Fiabilité, précision et rapidité
Prolongation du cycle de maintenance
Faible coût de fonctionnement

taille		DN 100 (4'), DN 160 (6'), DN 200 (8'), DN 250 (10'), DN 320 (12'), DN 350 (14')
lecteur		Moteur pas à pas avec régulateur de pression intégré
Matériau du corps de valve		Aluminium: aluminium ou aluminium anodisé dur
Pièce d'alimentation	lecteur joint d'étanchéité	Traversée rotative Passage d'arbre
Brides standard		ISO-F, JIS
Corps de valve de taux de fuite	aluminium Aluminium anodisé dur	< 1 × 10-9mbar les-1 < 1 × 10-5mbar les-1
Siège de soupape de taux de fuite	aluminium Aluminium anodisé dur	< 1 × 10-9mbar les-1 < 1 × 10-4mbar les-1
Gamme de pression	aluminium Aluminium anodisé dur	1×10-8Mbar à 1,2 Bar (pression absolue) 1×10-6Mbar à 1,2 Bar (pression absolue)
Nombre de commutateurs avant Maintenance1)	Contrôle de la pression Fermer / ouvrir	1 million de fois 200 000 fois
température	Corps de valve Contrôleur	≤ 120 °C MAX 50 ℃ (recommandé ≤ 35 ℃)
matériaux	Corps de valve, plaque de valve	EN AW-6061 (3.3211)
	joint d'étanchéité	EN AW-6061 (3.3211), AISI 305 (1.4303), AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568)
	Autres composants	AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 440 (1.4122), AISI 301 (1.4310), AISI 316 Ti (1.4571), AISI 304 (1.4301)
scellé	Couvercle de valve, plaque de valve, Traversée de corps de valve	Caoutchouc fluoré (élastomère fluoré)
Emplacement de l'installation		N'importe quelle position

Swiss VAT vanne pendulaire à haute pression contrôlée par vide série 65.3

Numéro d'article 65350 - jauh numéro d'article 65346 - phgk numéro d'article 65350 - jauh numéro d'article 65350 - jauh numéro d'article 65350 - pace

Numéro d'article 65346 - phgn numéro d'article 65340 - jagq numéro d'article 65340 - jagn

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