Swiss VAT Valve pendulaire de contrôle de vide élevé série 65.5

65.5 la vanne pendulaire de commande de vide élevé peut fournir un spectre de guidage de flux hautement contrôlable. En raison de son mouvement d'ouverture et de fermeture en douceur, le nombre de particules et le niveau de génération de particules sont extrêmement faibles, ce qui est également sa caractéristique principale.

Cette vanne est spécialement conçue pour les processus exigeants, tels que la gravure corrosive et les applications de nettoyage dans la production de semi - conducteurs, où un spectre de conduction de flux hautement contrôlable est nécessaire lorsque la conduction de flux contrôlable initiale est faible.

Le clapet pendulaire 65.5 à commande de vide poussé a un DN de 250 mm (10 ') et peut contrôler la conduction de débit minimale à seulement 2 LS - 1. Grâce à l'excellente puissance de traitement des données du Contrôleur de disque 32 bits, l'augmentation de la conduction de flux peut être contrôlée à un niveau très fin. En outre, un entraînement plus rapide est également disponible, car les capteurs et les commandes de commande sont traités plus rapidement par rapport à un contrôleur 16 bits équivalent. Divers connecteurs de port standard sur le Contrôleur sont facilement accessibles via un ordinateur personnel ou connectés à une unité de contrôle de processus.

Le mécanisme de plaque de valve pendulaire utilise une conception extrêmement robuste qui garantit qu'il résiste à tout sous - produit de processus. Pour réduire l'usure du joint et éviter la production et la génération de particules, les mouvements d'ouverture et de fermeture sont séparés. Le premier étage de guidage de flux est réalisé par un mouvement vertical d'éloignement du Siège, puis augmenté en déplaçant la plaque de valve pendulaire dans un mouvement horizontal. Grâce à la bonne contrôlabilité du Mouvement de la plaque de soupape, la séquence de mouvement prédéfinie peut être ajustée avec précision en fonction des exigences du processus. Pour assurer une fermeture étanche, une tige de pression spéciale à travers presse la plaque de valve contre le siège. De cette façon, la pression d'étanchéité est uniformément répartie dans toutes les zones de la plaque de vanne.

Avec une conception compacte et des options de montage direct, ainsi que diverses autres options de conception, la série 65.5 est facile à intégrer dans divers processus de vide.

65.5 vannes pendulaires de contrôle de vide élevé en aluminium ou en aluminium anodisé dur avec connecteurs à bride STANDARD ISO - F et JIS. Peut intégrer la bride spécifiée par le client, peut également être utilisé comme un appareil de chauffage pour les vannes avec des températures de fonctionnement allant jusqu'à 120 ℃.

1. Valve
2. Arbre d'entraînement
3. Conducteur de double axe
4. Joint d'alimentation de conducteur
5. Fermeture de la porte